數(shù)字式高干涉、測(cè)角、分光儀集干涉儀、測(cè)角儀和分光計(jì)于一體，適用于激光和光學(xué)行業(yè)、計(jì)算機(jī)輔助的光機(jī)電一體化檢測(cè)儀器。采用高的CCD相機(jī)為接收單元；通過(guò)自主版權(quán)、包括干涉條紋分析模塊、角度計(jì)量模塊和分光測(cè)量模塊的計(jì)算機(jī)軟件輔助分析；實(shí)現(xiàn)測(cè)試過(guò)程的全自動(dòng)和計(jì)量等級(jí)的測(cè)試。
具體性能指標(biāo)為：
體積：750 x 360x540mm3
重量：50kg
口徑：2"
：平面二分之一波長(zhǎng), 球面十分之一波長(zhǎng)@532nm
重復(fù)度：一波長(zhǎng)
測(cè)試與ZYGO同一等級(jí)。
測(cè)角模式：
口徑：2”
：0.36角秒
分辨率：0.05角秒
測(cè)角范圍：+/-20角分
分光計(jì)模式：
波長(zhǎng)：0.4um-2.3um
折射率：0.00001
軟件要求：
操作系統(tǒng)：Windows95/Windows98
主機(jī)：Pentium/Pentium II
硬盤：50M
具體性能指標(biāo)為：
體積：750 x 360x540mm3
重量：50kg
口徑：2"
：平面二分之一波長(zhǎng), 球面十分之一波長(zhǎng)@532nm
重復(fù)度：一波長(zhǎng)
測(cè)試與ZYGO同一等級(jí)。
測(cè)角模式：
口徑：2”
：0.36角秒
分辨率：0.05角秒
測(cè)角范圍：+/-20角分
分光計(jì)模式：
波長(zhǎng)：0.4um-2.3um
折射率：0.00001
軟件要求：
操作系統(tǒng)：Windows95/Windows98
主機(jī)：Pentium/Pentium II
硬盤：50M
