這款三維形貌儀德國(guó)制造，精密。用于表面形貌研究，橫向分辨率近似0.2微米，垂直分辨率由于1納米。定量測(cè)量亞微米范圍的微尺度結(jié)構(gòu)?！　?
　　
　　這款三維形貌儀能夠快速而地測(cè)量光滑和粗糙表面的形貌它提供了物理原理上的垂直和橫向分辨率。并且，它配備了自動(dòng)操作的軟件，能夠2D/3D顯示表面形貌，并具有各種數(shù)學(xué)上的濾波和轉(zhuǎn)換算法。可以給出表面粗糙度參數(shù)，臺(tái)階高度參數(shù)和其他表面結(jié)構(gòu)參數(shù)。
　　
　　應(yīng)用：測(cè)量表面形貌，亞微米尺度定量分析，表面粗糙度分析，臺(tái)階高度測(cè)量。
　　主要特色：
　　*橫向分辨率>0.2微米；三維形貌儀，表面形貌儀，表面輪廓儀，三維輪廓儀，光學(xué)輪廓儀，表面形貌測(cè)量?jī)x，臺(tái)階儀，表面粗糙度儀
　　*垂直分辨率：1nm；三維形貌儀，表面形貌儀，表面輪廓儀，三維輪廓儀，光學(xué)輪廓儀，表面形貌測(cè)量?jī)x，臺(tái)階儀，表面粗糙度儀
　　*測(cè)量范圍：100/150微米；
　　*測(cè)量光滑和粗糙表面；三維形貌儀，表面形貌儀，表面輪廓儀，三維輪廓儀，光學(xué)輪廓儀，表面形貌測(cè)量?jī)x，臺(tái)階儀，表面粗糙度儀
　　*橫向分辨率約1微米，垂直分辨率由于1納米；
　　*測(cè)量結(jié)果不受樣本的顏色和材質(zhì)影響；三維形貌儀，表面形貌儀，表面輪廓儀，三維輪廓儀，光學(xué)輪廓儀，表面形貌測(cè)量?jī)x，臺(tái)階儀，表面粗糙度儀
　　*測(cè)量快速，幾秒間可獲得結(jié)果；三維