AZQ／FC　　　　　　　　　　　　　　
　　本裝置工藝流程，有液氨瓶送來的氨經(jīng)過進氨閥F1，F(xiàn)2進入汽化器（1），汽化器內(nèi)裝有電加熱元件，電加熱元件對汽化器內(nèi)的水加熱，一般水溫控制在45-60℃，液氨在汽化器內(nèi)得到溫水傳過來的熱量。汽化成氣態(tài)氨，一般汽化后的氨壓力控制在0.4-0.5MPa，氨氣經(jīng)減壓閥減壓后，壓力調(diào)到0.05MPa左右。經(jīng)過降壓后的氨氣由耐腐流量計量，從流量計流出的氨氣在熱交換器中進行熱量交換，使氨氣溫度升高，由分解爐出來的高溫混合氣被降溫，經(jīng)升溫后的氨氣進入分解爐進行分解成氫氮混合氣，高溫混合氣進入熱交換器，水冷卻器降溫，然后送到使用地點。如果需要純度較高的氫氮混合氣。　
　　
　　復(fù)式流程，用兩只吸附干燥器并聯(lián)，一只工作，同時另一只可以進行再生處理。相互交替工作和再生，以設(shè)備連續(xù)運行。干燥器在常溫下工作，在加溫至350℃下沖氣再生。
　　分解后混合氣體通過閥F14進入1組干燥器，利用分子篩對NH3和H2O的共吸附性可以同時吸附殘氨和水份，然后氣體經(jīng)閥F12，由純氣出口送使用地點。取一部分純氣通過閥F20和再生流量計，再經(jīng)閥F11送入2組干燥器，進行加熱沖洗再生，再生廢氣經(jīng)閥F17后，通過氣水分離器放空。
　　
　　DYC-1　　　　　
　　原氮經(jīng)原氣閥，氮流量計，除氧器，氫氣經(jīng)加氫閥　，加氫流量計計量與氮氣混合，進行催化除氧。再經(jīng)冷卻器降溫，用冷卻水使氣體降溫，進入汽水分離器，分離水份。再經(jīng)冷凝器，用冷凍水使氣體深度干燥，經(jīng)汽水分離器分離水份。
　　
　　此時氣體可以分別經(jīng)閥門，進入1組吸附干燥器或2組吸附干燥器吸附干燥，然后經(jīng)閥門，再經(jīng)過濾器，純氮由純氮出口閥門13送使用地點。
　　
　　該復(fù)式流程，在一只吸附干燥器工作的同時，另一只吸附干燥器可以進行再生處理，再生用氣取部分干燥純氮，通過閥門，再生流量計，閥門送1組吸附干燥器或2組吸附干燥器，加熱再生吸附劑，再生廢氣經(jīng)閥門進入汽水分離器放空，水份經(jīng)閥門排出。
　　
　　DYC-111、吸附劑和過濾器除去氮氣中的雜質(zhì)氧、水汽和塵埃等。本裝置采用復(fù)式流程，一組工作，同時另一組再生、待用。兩組交替使用，設(shè)備可以長期連續(xù)運行。
　　
　　復(fù)式流程，每一組由除氧器、冷卻水、干燥器串聯(lián)組成，可以一組工作，同時另一組可以進行再生處理，相互交替工作和再生，以設(shè)備連續(xù)運行。
　　
　　1組工作時，原料氮氣級閥，過原氣流量計，經(jīng)閥進入1組除氧器，利用脫氧劑除氧，經(jīng)1組冷卻器冷卻后，進入　1組干燥器，利用分子篩吸附性可以同時除去水份等雜質(zhì)，然后氣體經(jīng)閥和過濾器，再經(jīng)閥，由純氣出口送入使用點。
　　
　　2組再生時，取一部分純氮氣通過再生流量計，閥，同時打開加氫閥，純氫通過加氫流量計與氮氣混合后，經(jīng)閥送入2組干燥器，進行加熱沖洗再生，再生氣經(jīng)2組冷卻器冷卻，進入2組除氧器，利用氫氣對除氧器進行再生處理，再生氣經(jīng)閥放空。