氬氣純化循環設備
一、原理說明：
氬氣是大規模工業生產單晶硅，手套箱的保護氣，它的要求之高，是控制經營成本須重視的一個重要方面。
將排出含有雜質的氬氣，除去固體雜質，經緩沖罐進入氬氣壓縮機升壓，，經氬氣純化設備。采用非蒸散型鋯鋁16吸氣劑為凈化劑，在溫度下，吸氣劑可于氬氣中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等等形成穩定的化合物或固溶體，從而對氬氣精制的目的。后將凈化后的氬氣送入使用地點。
二、設備構成：
1、過濾器
2、壓縮機
3、氬氣純化
6、電氣控制箱
三、技術保障措施；
1、組合式過濾工藝，分級處理。
2、氬氣純化采用結構和裝料方法，流速設計合理，氣流分布均勻。
3、氬氣純化采用設計的加熱構造，加熱均勻、穩定。
4、采用優質管件，閥門，避免管道和閥門影響氣體質量。
5、采用優質的電器元件和控制儀表，溫度穩定，減少溫度和影響。
6、氬氣純化的活化程序，嚴格按照活化程序執行，根據現場實際情況適當調整。
7、對用戶的操作員進行設備操作培訓，了解設備工作原理，掌握設備操作方法，熟悉設備的開車、停車、停電、停水處理方法。
一、原理說明：
氬氣是大規模工業生產單晶硅，手套箱的保護氣，它的要求之高，是控制經營成本須重視的一個重要方面。
將排出含有雜質的氬氣，除去固體雜質，經緩沖罐進入氬氣壓縮機升壓，，經氬氣純化設備。采用非蒸散型鋯鋁16吸氣劑為凈化劑，在溫度下，吸氣劑可于氬氣中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等等形成穩定的化合物或固溶體，從而對氬氣精制的目的。后將凈化后的氬氣送入使用地點。
二、設備構成：
1、過濾器
2、壓縮機
3、氬氣純化
6、電氣控制箱
三、技術保障措施；
1、組合式過濾工藝，分級處理。
2、氬氣純化采用結構和裝料方法，流速設計合理，氣流分布均勻。
3、氬氣純化采用設計的加熱構造，加熱均勻、穩定。
4、采用優質管件，閥門，避免管道和閥門影響氣體質量。
5、采用優質的電器元件和控制儀表，溫度穩定，減少溫度和影響。
6、氬氣純化的活化程序，嚴格按照活化程序執行，根據現場實際情況適當調整。
7、對用戶的操作員進行設備操作培訓，了解設備工作原理，掌握設備操作方法，熟悉設備的開車、停車、停電、停水處理方法。
