性能指標 PR02 MR15＆MD30
性能前級泵內置式前級泵外置式及小車
前級泵油式機械泵 DS-42 2 m3/hr（34 l/m）DS-302 14 m3/hr（232 l/m）
渦卷式干泵 N/A TS-620 30 m3/hr（500 l/m）
小可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下 5×10-12 ATM CC/sec；5×10-12 mbar l/s；5×10-13 Pa m3/sec helium
測試口耐壓 16 mbar，12 Torr，1600 Pa
測試口處對氦氣抽速 1.8 l/s
響應時間＜1.0秒
設定點標準；5個設定點；常開或常閉；3個漏率點；1個壓強點；1個聲訊點
通訊協議 RS-232通訊借口，9600波特率（9芯竄口）
性能前級泵內置式前級泵外置式及小車
前級泵油式機械泵 DS-42 2 m3/hr（34 l/m）DS-302 14 m3/hr（232 l/m）
渦卷式干泵 N/A TS-620 30 m3/hr（500 l/m）
小可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下 5×10-12 ATM CC/sec；5×10-12 mbar l/s；5×10-13 Pa m3/sec helium
測試口耐壓 16 mbar，12 Torr，1600 Pa
測試口處對氦氣抽速 1.8 l/s
響應時間＜1.0秒
設定點標準；5個設定點；常開或常閉；3個漏率點；1個壓強點；1個聲訊點
通訊協議 RS-232通訊借口，9600波特率（9芯竄口）
