微機(jī)電氣體質(zhì)量流量計(jì)
　　工作原理
　　微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）芯片傳感技術(shù)，是在硅芯片上集成了具械和電子特性的傳感器。它并不是簡單地將機(jī)械和電子功能微縮在芯片上，而是采用了現(xiàn)代材料制作技術(shù)與大規(guī)模集成電路技術(shù)相結(jié)合獲得新的機(jī)電特性。微機(jī)電系統(tǒng)芯片可實(shí)現(xiàn)某些宏觀機(jī)電器件所不能的功效。
　　MF系列質(zhì)量流量計(jì)采用了本公司生產(chǎn)的熱質(zhì)量氣體流量傳感芯片，屬于質(zhì)量流量傳感方式的流量計(jì)，它是通過氣體流動(dòng)產(chǎn)生的熱場變化來測量氣體流量的。由于不同質(zhì)量的氣體對(duì)熱場的變化具有不同的影響，因而，它所測量的流量為質(zhì)量流量。
　　不同于傳統(tǒng)的“熱絲”方式采用了多個(gè)熱傳感器及熱源來測量氣體的質(zhì)量流量（風(fēng)速式熱質(zhì)量流量原理），微機(jī)電系統(tǒng)芯片熱質(zhì)量流量傳感器采用了多個(gè)熱傳感器和一個(gè)微熱源（量熱式熱質(zhì)量流量原理），大大減少了環(huán)境對(duì)測量的影響。微機(jī)電系統(tǒng)芯片熱質(zhì)量流量傳感器的熱源十分微小，采用式在相對(duì)大的流場中，在無氣體流動(dòng)時(shí)，傳感器的熱源對(duì)環(huán)境無影響，不會(huì)像傳統(tǒng)的熱絲式質(zhì)量流量計(jì)那樣造成氣體的對(duì)流。因而，微機(jī)電系統(tǒng)芯片熱質(zhì)量流量傳感器具有優(yōu)良的點(diǎn)穩(wěn)定性和短的響應(yīng)時(shí)間。
　　本流量計(jì)主要由電源模塊、MEMS流量傳感芯片、信號(hào)處理模塊、A/D轉(zhuǎn)換模塊、EEPROM存儲(chǔ)器、RTC實(shí)時(shí)時(shí)鐘模塊以及顯示模塊組成。
　　
　　技術(shù)指標(biāo)
　　范圍度＞100：1
　　&plun;（1.0＋0.15FS）%；&plun;（1.5＋0.15FS）%
　　重復(fù)性&plun;0.5%&plun;0.75%
　　工作壓力＜2.5MPa 2.5〜4.0 MPa為定制產(chǎn)品
　　環(huán)境溫度-10-55℃
　　介質(zhì)溫度-20-60℃
　　濕度＜95%RH
　　LCD顯示總量（Nm3），流量（Nm3/h）
　　供電方式 8-24VCD；110/220VAC（適配器供選）
　　校準(zhǔn)條件空氣、20℃；101.325KPa；可根據(jù)用戶要求進(jìn)行實(shí)際介質(zhì)標(biāo)定
　　材料/機(jī)械連接不銹鋼；法蘭/NPT/BSPT
　　數(shù)據(jù)存儲(chǔ)可自動(dòng)存儲(chǔ)數(shù)據(jù)
　　輸出（選項(xiàng)）RS485；4-20mA；脈沖
　　用戶控制（選項(xiàng)）用戶界面軟件
　　護(hù)等級(jí) IP65
　　爆等級(jí) Ex ia IIC T4