產品簡介：
FS1015系列微機電氣體質量流量傳感器是專門為各類用氣體的測量和過程控制而設計的。產品采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計。
產品特點：
-專為呼吸機和麻醉機的流量計量需求而設計
-高靈敏度，應用熱式質量流量計原理可測量至8mm／sec的流體流量
-無旁通結構，低壓損
-傳感器的點穩定度高
-經液處理后可重復使用
-自動轉換量程的開關設計了測量
-主機設備上的用戶界面可輕松實現線性輸出
FS1015系列微機電氣體質量流量傳感器是專門為各類用氣體的測量和過程控制而設計的。產品采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計。
產品特點：
-專為呼吸機和麻醉機的流量計量需求而設計
-高靈敏度，應用熱式質量流量計原理可測量至8mm／sec的流體流量
-無旁通結構，低壓損
-傳感器的點穩定度高
-經液處理后可重復使用
-自動轉換量程的開關設計了測量
-主機設備上的用戶界面可輕松實現線性輸出
其他說明
| 產品 | FS1015CL | 單位 | |
| 流量范圍 | 0 - 150 | SLPM | |
| &plun;(1.5&plun;0.1FS) | % | ||
| 重復性 | &plun;0.75 | % | |
| 響應時間 | 10(Max.) | msec | |
| 工作電壓 | 5&plun;1% | Vdc | |
| 輸出方式 | 線性,模擬電壓0.5~4.5Vdc | ||
| 壓損 | 500 | Pa | |
| 工作壓力 | 0.2 | MPa | |
| 工作溫度 | -10 - 55 | ℃ | |
| 儲存溫度 | -20 - 65 | ℃ | |
| 工作濕度 | <95(無結冰,無凝露) | %RH | |
| 機械接口 (入口:外;出口:內); | ISO-15 | ||
