FS1015系列微機電氣體質量流量傳感器是專門為各類用氣體的測量和過程控制而設計的。產品采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計。
產品特點：
-傳感器靈敏度高，有小的始動流量
-傳感器芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，了傳感器的高計量
-在單個芯片上集成了多個傳感器，使傳感器的量程比大大；
-傳感器的點穩定度高
-全量程高穩定性
-全量程高度和優良的重復性
-低功耗＜100 mW，低壓損＜1300 Pa
-響應時間快 8 msec
產品特點：
-傳感器靈敏度高，有小的始動流量
-傳感器芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，了傳感器的高計量
-在單個芯片上集成了多個傳感器，使傳感器的量程比大大；
-傳感器的點穩定度高
-全量程高穩定性
-全量程高度和優良的重復性
-低功耗＜100 mW，低壓損＜1300 Pa
-響應時間快 8 msec
