產(chǎn)品簡介：
　　
　　MF5000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)是矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司結(jié)合微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片技術(shù)和計(jì)算機(jī)自適應(yīng)技術(shù)歷經(jīng)多年，開發(fā)出的智能化全電子式氣體質(zhì)量流量儀表，主要技術(shù)性能處于國際水平，具有高靈敏度、高、大量程比等特點(diǎn)；針對(duì)工業(yè)環(huán)境，融合了多種干擾措施的電磁兼容設(shè)計(jì)；且具有多種信號(hào)輸出，能通過通訊接口實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能；本產(chǎn)品在性能、安裝和維護(hù)方面也具有其的性，可廣泛應(yīng)用于石油、燃?xì)?、化工、冶煉、能源等各個(gè)領(lǐng)域。
　　
　　產(chǎn)品特點(diǎn)：
　　
　　-采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到了微米量級(jí)，使該流量計(jì)的靈敏度大大。
　　-在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使該流量計(jì)的量程比（范圍度）大大。
　　-傳感器點(diǎn)穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計(jì)有大的。
　　-結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù)，使流量計(jì)重復(fù)性好，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量準(zhǔn)確。
　　-技術(shù)進(jìn)步帶來的結(jié)構(gòu)簡化，使流量計(jì)較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表，壓力損失大幅度減小，大地降低了能源消耗。
　　-采用LCD顯示“瞬時(shí)流量”和“累計(jì)流量”，清晰直觀，讀數(shù)方便。
　　-產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計(jì)技術(shù)，具有更高干擾能力。
　　-流量計(jì)帶有RS485通訊模塊，配合計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理。
　　-可以選配4～20mA標(biāo)準(zhǔn)電流信號(hào)輸出。
　　
　　技術(shù)參數(shù)：
　　
　　度&plun;（1.5＋0.2FS）％
　　測量范圍 0.01～65m／sec
　　測量管徑 1～19 mm
　　使用環(huán)境溫度：-20～65
　　顯示瞬時(shí)流量；累計(jì)流量
　　輸出模式 4～20mA；RS485；RS232；0～5V；脈沖
　　校準(zhǔn)條件 20oC；101.325 kPa.

其他說明

型號(hào)	通徑 (mm)	接口 (inch)	L	H	W	d	a	b	c
MF5003	3	1/8"	85	124	35	Φ3	25	16	50
MF5006	6	1/4"	95	127	35	Φ6	25	18	50
MF5008	8	3/8"	105	134	35	Φ8	25	22	50
MF5012	12	1/2"	116	137	40	Φ12	30	25	50
MF5019	19	3/4"	152	149	40	Φ19	30	40	70

號(hào)	通徑 (mm)	接口 (inch)	工作壓力 (MPa)	測量范圍
				sccm	SLPM	SCFM	NCMH
MF5003	3	1/8"	3.0	15-1500	0.15-15
MF5006	6	1/4"	3.0		0.5-50	0.02-2	0.035-3.5
MF5008	8	3/8"	3.0		1.2-120	0.045-4.5	0.075-7.5
MF5012	12	1/2"	3.0		3-300	0.1-10	0.17-17
MF5019	19	3/4"	3.0		10-1000	0.35-35	0.6-60