SFQ-1506ZT型自動硅片清洗機是一種為特定工藝要求而設計的濕法腐蝕清洗設備，它主要用于太陽能電池硅片生產過程中硅片的化學腐蝕及DI水沖洗工藝。設備具有自動化程度高，運行成本低，生產效率高，性能穩定，等特點。
主要技術特點
□ 各清洗槽功能可根據用戶要求配置
□ 槽體材料可選用石英、PTFE、PVDF、
□ PP和不銹鋼等
□ PLC控制，觸摸屏操作面板
□ 溫控，可±0.5℃
□ 伺服驅動系統及片盒傳輸系統
□ 關鍵外購件選用材料
□ 多種工作模式：全自動、半自動、手動等
□ 實時狀態顯示及故障報警
□ 腐蝕槽配置自動蓋
□ 可實現化學液循環、自動配液等功能
主要技術指標
□ 清洗片盒數量：每個載體9盒
＊可根據用戶定制
□ 氮氣壓力：0.3～0.35MPa
□ 壓縮空氣壓力：0.45～0.6MPa
□ 去離子水壓力：0.2～0.3MPa
□ 自來水壓力：0.2～0.3MPa
□ 排水口管徑：OD φ60mm
□ 設備廢氣排風量：≥8500L／min／每個排風口
□ 電源：AC380V±38V 50Hz （三相五線制）
主要技術特點
□ 各清洗槽功能可根據用戶要求配置
□ 槽體材料可選用石英、PTFE、PVDF、
□ PP和不銹鋼等
□ PLC控制，觸摸屏操作面板
□ 溫控，可±0.5℃
□ 伺服驅動系統及片盒傳輸系統
□ 關鍵外購件選用材料
□ 多種工作模式：全自動、半自動、手動等
□ 實時狀態顯示及故障報警
□ 腐蝕槽配置自動蓋
□ 可實現化學液循環、自動配液等功能
主要技術指標
□ 清洗片盒數量：每個載體9盒
＊可根據用戶定制
□ 氮氣壓力：0.3～0.35MPa
□ 壓縮空氣壓力：0.45～0.6MPa
□ 去離子水壓力：0.2～0.3MPa
□ 自來水壓力：0.2～0.3MPa
□ 排水口管徑：OD φ60mm
□ 設備廢氣排風量：≥8500L／min／每個排風口
□ 電源：AC380V±38V 50Hz （三相五線制）
