在真空環(huán)境下，探針臺(tái)有兩種應(yīng)用：
　　1.溫情況下：
　　由于晶圓在溫情況下進(jìn)行探測(cè)，水氣將會(huì)出現(xiàn)并且將會(huì)凍結(jié)晶圓。水氣將會(huì)影響測(cè)量，導(dǎo)致測(cè)量失敗。真空倉中的水氣將通過真空泵排出，真空泵須具備長(zhǎng)時(shí)間測(cè)量的要求。
　　
　　2.高溫情況下：
　　當(dāng)晶圓加熱過300攝氏度，400攝氏度，500攝氏度或者更高溫度時(shí)，會(huì)發(fā)生很強(qiáng)烈的氧化。溫度越高，越硅片表面的氧化，氧化將使晶圓降低電學(xué)性，物理性和機(jī)械性。真空倉中的氧氣通過真空泵來排出。真空泵須能夠保持長(zhǎng)時(shí)間的測(cè)量要求。
　　由于卡盤將被熱量所控制，應(yīng)用于溫和高溫的環(huán)境，在晶圓上探針由于晶圓的收縮和膨脹，將需要的改變位置。因此，一些探針將需要通過真空倉之外的探針座的三軸控制旋鈕重新定位。外部的機(jī)動(dòng)探針座可通過拉桿控制系統(tǒng)輕松地重新定位真空倉中的探針。
　　特點(diǎn)：
　　* 三種溫度范圍可選擇：
　　77K—480K（-196℃—200℃）
　　77K—780K（-196℃—500℃）
　　77K—1080K（-196℃—800℃）
　　* 框架采用焊接以堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)
　　* 通過外置探針座來控制探針重新定位
　　* 橋型結(jié)構(gòu)顯微鏡以方便打開真空倉
　　* 顯微鏡可通過鏡臺(tái)控制地移動(dòng)，X-Y軸移動(dòng)范圍 1英寸—1英寸
　　* 可升級(jí)到6個(gè)探針座
　　* 雙屏蔽chuck高低溫時(shí)10pA
　　* 可選擇震桌
　　* 可選擇高真空倉　　
　　
　　詳細(xì)說明：
　　* 卡盤直徑40mm
　　* 溫度的為0.1度
　　* 液氮瓶50升
　　* 探針座X-Y-Z三軸移動(dòng)范圍：25mmx25mmx25mm，10微米
　　* 顯微鏡X-Y軸移動(dòng)范圍：1英寸x1英寸
　　連續(xù)變焦：0.8X—* 5X
　　目鏡：20X
　　總放大倍數(shù)：16X—100X
　　150W燈源箱
　　雙分支鵝頸管燈源
　　規(guī)格：
　　* 尺寸：1300mm長(zhǎng)x1100mm寬x1500mm高
　　* 重量：300Kg
　　
　　配置：
　　* 電源：220V、60Hz、1500W
　　* 液氮：50升
　　* 氮?dú)夤?
　　
　　操作說明：
　　1.溫度控制單元：
　　當(dāng)需要溫度室溫以下時(shí)，卡盤需要通過液氮來降溫以溫度低于事先設(shè)置的溫度。比例積分微（PID）分控制器可以準(zhǔn)確的控制溫度來加熱卡盤中的熱敏器件。
　　
　　2.液氮單元
　　氮?dú)馐琼殏涞模ㄟ^氮?dú)饧訅赫婵掌縼硗苿?dòng)液氮的流出，液氮的容量可以通過氮?dú)獾膲簭?qiáng)、液氮的進(jìn)氣閥和出氣閥來控制。
　　
　　3.真空倉單元
　　真空倉可通過真空泵產(chǎn)生10-3 托的壓強(qiáng)提供給溫的應(yīng)用；
　　BNC母接頭用來連接探測(cè)設(shè)備的信號(hào)裝置；
　　真空泵可提供排氣過濾作用，以避免污染客戶的環(huán)境；
　　
　　4.探針座單元
　　探針座都在真空倉外設(shè)置，這將幫助工程師在真空組織下進(jìn)行探測(cè)時(shí)不用排出真空倉內(nèi)的氣體。是，當(dāng)溫度降低的時(shí)候，晶圓開始收縮，探針已經(jīng)離開需要探測(cè)的測(cè)試樣品，工程師需要重新設(shè)置探針，將探針扎到測(cè)試樣品上。
　　
　　5.顯微鏡單元：
　　顯微鏡可以通過橋梁結(jié)構(gòu)移動(dòng)到旁邊，以方便打開真空倉的蓋子。顯微鏡可以通過真空倉上面得窗口觀察，
　　燈光可以通過階梯式旋鈕控制亮度，雙分支鵝頸式光纖引導(dǎo)源可以用于定位及分離目標(biāo)。