鈦泵-廣州保達(dá)鈦泵性能：
（1）限壓強(qiáng)：10-8帕
（2）抽速：
鈦泵的抽速與陽(yáng)電壓和磁場(chǎng)強(qiáng)度有關(guān)，磁場(chǎng)強(qiáng)時(shí)抽速也大，對(duì)應(yīng)抽速的陽(yáng)電壓也高。常用鈦泵的抽速有25升／秒、5升／秒。對(duì)于需要大抽速的場(chǎng)合，可用基本結(jié)構(gòu)單元并聯(lián)的方式使抽速50升／秒、100升／秒等。
（3）啟動(dòng)壓強(qiáng)：10-2帕
（4）壽命：
a、陰耗盡壽命
陰鈦板因?yàn)R射穿通而使泵無(wú)法使用。
b、陽(yáng)剝落壽命
陽(yáng)內(nèi)沉積鈦膜的厚度太大時(shí)會(huì)產(chǎn)生剝落，導(dǎo)致泵內(nèi)壓強(qiáng)的不規(guī)則強(qiáng)烈變化，使泵無(wú)法使用。
c、陽(yáng)吸飽壽命
陽(yáng)上吸附和溶解了大量的氦氣、氫氣，當(dāng)飽和狀態(tài)時(shí)泵吸附氣體。
在正常使用情況下，濺射離子泵的壽命可達(dá)幾萬(wàn)小時(shí)。
（1）限壓強(qiáng)：10-8帕
（2）抽速：
鈦泵的抽速與陽(yáng)電壓和磁場(chǎng)強(qiáng)度有關(guān)，磁場(chǎng)強(qiáng)時(shí)抽速也大，對(duì)應(yīng)抽速的陽(yáng)電壓也高。常用鈦泵的抽速有25升／秒、5升／秒。對(duì)于需要大抽速的場(chǎng)合，可用基本結(jié)構(gòu)單元并聯(lián)的方式使抽速50升／秒、100升／秒等。
（3）啟動(dòng)壓強(qiáng)：10-2帕
（4）壽命：
a、陰耗盡壽命
陰鈦板因?yàn)R射穿通而使泵無(wú)法使用。
b、陽(yáng)剝落壽命
陽(yáng)內(nèi)沉積鈦膜的厚度太大時(shí)會(huì)產(chǎn)生剝落，導(dǎo)致泵內(nèi)壓強(qiáng)的不規(guī)則強(qiáng)烈變化，使泵無(wú)法使用。
c、陽(yáng)吸飽壽命
陽(yáng)上吸附和溶解了大量的氦氣、氫氣，當(dāng)飽和狀態(tài)時(shí)泵吸附氣體。
在正常使用情況下，濺射離子泵的壽命可達(dá)幾萬(wàn)小時(shí)。
