產品特點
　　換能效率高
　　位移高（納米級）
　　輸出力大（可10000N）
　　響應速度快（亞毫秒到微秒）
　　功耗低
　　無電磁干擾
　　澡聲低
　　滯后小
　　回再現(xiàn)性好
　　穩(wěn)定性好
　　可采用相對簡單的電壓控制方式等
　　  
　　應用范圍
　　各種精密微動臺
　　自適應光學變形鏡
　　光纖和激光調諧
　　光學微處理系統(tǒng)
　　飛行器控制
　　振動主動控制
　　掃描探針顯微鏡
　　精密加工、集成電路制造
　　生物工程
　　快響應精密燃油噴嘴
　　微泵、微閥等
　　            
　　壓電陶瓷微致動器
　　產品特點
　　換能
　　位移高（納米級）
　　輸出力大（可10000N）
　　響應速度快（亞毫秒到微秒）
　　功耗低
　　無電磁干擾
　　澡聲低
　　滯后小
　　回再現(xiàn)性好
　　穩(wěn)定性好
　　可采用相對簡單的電壓控制方式等
　　  
　　應用范圍
　　各種精密微動臺
　　自適應光學變形鏡
　　光纖和激光調諧
　　光學微處理系統(tǒng)
　　飛行器控制
　　振動主動控制
　　掃描探針顯微鏡
　　精密加工、集成電路制造
　　生物工程
　　快響應精密燃油噴嘴
　　微泵、微閥等
　　型號外形尺寸［mm］標稱位移um　位移推力剛度靜電容量
　　HT0303/3  3×3×3  3  330  70  0.06  
　　HT0303/5  3×3×6  5  330  55  0.11
　　HT0303/10  3×3×10  10  330  33  0.25  
　　HT0505/5  5×5×6  5  900  180  0.35  
　　HT0505/10  5×5×10  10  900  108  0.55  
　　HT0505/20  5×5×18  20  900  60  0.9  
　　HT0505/30  5×5×28  30  900  38  1.9  
　　HT0505/40  5×5×38  40  900  28  2.70