換能效率高
位移高(納米級(jí))
輸出力大(可10000N)
響應(yīng)速度快(亞毫秒到微秒)
功耗低
無電磁干擾
澡聲低
滯后小
回再現(xiàn)性好
穩(wěn)定性好
可采用相對(duì)簡(jiǎn)單的電壓控制方式等
應(yīng)用范圍
各種精密微動(dòng)臺(tái)
自適應(yīng)光學(xué)變形鏡
光纖和激光調(diào)諧
光學(xué)微處理系統(tǒng)
飛行器控制
振動(dòng)主動(dòng)控制
掃描探針顯微鏡
精密加工、集成電路制造
生物工程
快響應(yīng)精密燃油噴嘴
微泵、微閥等
壓電陶瓷微致動(dòng)器
產(chǎn)品特點(diǎn)
換能
位移高(納米級(jí))
輸出力大(可10000N)
響應(yīng)速度快(亞毫秒到微秒)
功耗低
無電磁干擾
澡聲低
滯后小
回再現(xiàn)性好
穩(wěn)定性好
可采用相對(duì)簡(jiǎn)單的電壓控制方式等
應(yīng)用范圍
各種精密微動(dòng)臺(tái)
自適應(yīng)光學(xué)變形鏡
光纖和激光調(diào)諧
光學(xué)微處理系統(tǒng)
飛行器控制
振動(dòng)主動(dòng)控制
掃描探針顯微鏡
精密加工、集成電路制造
生物工程
快響應(yīng)精密燃油噴嘴
微泵、微閥等
型號(hào)外形尺寸[mm]標(biāo)稱位移um 位移推力剛度靜電容量
HT0303/3 3×3×3 3 330 70 0.06
HT0303/5 3×3×6 5 330 55 0.11
HT0303/10 3×3×10 10 330 33 0.25
HT0505/5 5×5×6 5 900 180 0.35
HT0505/10 5×5×10 10 900 108 0.55
HT0505/20 5×5×18 20 900 60 0.9
HT0505/30 5×5×28 30 900 38 1.9
HT0505/40 5×5×38 40 900 28 2.70







