普通的壓阻式壓力傳感器其敏感惠斯頓電橋的四個力敏電阻是用集成電路工藝制造的，電阻間用PN結(jié)相互隔離。由于受到PN結(jié)耐溫限制，使用溫度125℃，而實際上由于PN結(jié)反向漏電流隨溫度的指數(shù)上升關(guān)系，在溫度過100℃后，傳感器性能已大大劣化，這限制了普通壓阻傳感器的可用溫度范圍。利用厚薄膜技術(shù)制作力敏電阻，可將使用溫度擴展至125℃；利用多晶硅SOI技術(shù)制作力敏電阻，可將使用溫度擴展至150°C；利用傳統(tǒng)SOS技術(shù)和的SOI技術(shù)可將使用溫度擴展至180℃～350℃；利用新的β相高溫力敏材料碳化硅與SOI技術(shù)的結(jié)合，可將溫度擴展至450℃～850℃，本系列產(chǎn)品是利用國際傳感器，配合高子件，經(jīng)嚴格的工藝過程裝配而成。
　　
　　性能參數(shù)
　　
　　測量范圍：0～10KPa…100MPa
　　
　　過載能力：2倍滿量程壓力（其中100MPa的產(chǎn)品過壓為1.1倍滿量程壓力）
　　
　　壓力類型：表壓或壓或密封參考壓力
　　
　　測量介質(zhì)：與316不銹鋼兼容的氣體或液體
　　
　　綜合：±0.25％FS；±0.5％FS；±1％FS
　　
　　使用溫區(qū)：-40℃～＋150℃；-40℃～＋200℃；-55℃～＋250℃；-25℃～＋350℃
　　
　　補償溫區(qū)：-20℃～＋130℃；-20℃～＋180℃；-20℃～＋200℃；0℃～＋250℃
　　
　　長期穩(wěn)定性：典型：±0.1％FS／年；：±0.2％FS／年
　　
　　點溫度漂移：典型：±0.02％FS／℃；：±0.05％FS／℃
　　
　　靈敏度溫度漂移：典型：±0.02％FS／℃；：±0.05％FS／℃
　　
　　供電范圍：12～36VDC（一般24VDC）
　　
　　信號輸出：4～20mA／1～5VDC／0～5VDC
　　
　　負載電阻：≤（U-10）／0.02Ω
　　
　　響應(yīng)時間：≤3毫秒