氫氣和氬氣經(jīng)氣體預(yù)熱爐預(yù)熱（單獨(dú)預(yù)熱，預(yù)熱溫度均為560℃）后，氬氣進(jìn)入NbCl5氣化罐內(nèi)（圖2），載帶NbCl5蒸汽，在閥門(mén)V6的后端與氫氣混合，混合后進(jìn)入沉積室下端，經(jīng)過(guò)氣體分布板，進(jìn)入沉積室內(nèi)部（圖2），沉積室直徑約為100mm.氫氣的量很大，能夠?qū)⒊练e室內(nèi)的UO2球流化（氫氣可以將UO2球像沙子樣吹起來(lái)，在沉積室內(nèi)翻騰），進(jìn)入沉積室內(nèi)的NbCl5蒸汽與氫氣反應(yīng)。UO2球裝載量為2-3kg，粒度為0.1mm，反應(yīng)溫度為800-900度。反應(yīng)產(chǎn)生的金屬鈮沉積在UO2球表面上（因此反應(yīng)溫度等于沉積溫度），反應(yīng)產(chǎn)物經(jīng)尾氣噴淋洗滌塔吸收后排出。
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