視覺系統攝像系統彩色數字CCD相機
照明系統 白色LED光源
分辨率 18um
檢測方法 彩色運算,顏色提取,灰階運算,圖像比對等
機械系統 X/Y驅動系統交流伺服電機+精密研磨滾珠絲桿
夾板方式 自動夾具
定位 <8 um
移動速度 800mm/s(MAX)
軌道調整 手動
軟件系統操作系統 Windows XP
界面語言 中,英文可選界面
檢測結果輸出 基板ID,基板名稱,元件名稱,缺陷名稱,缺陷圖片
電源規格 AC220&plun;10%,50/60HZ,1KW
環境溫度-10-40℃
環境濕度 10-85%RH(無凝霜)
外形尺寸 900×1100×1300mm






