PSM-1000工業(yè)顯微鏡采用的一體化設(shè)計(jì)，具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量，造型新穎，使用方便，并具有豐富的擴(kuò)展功能，可以廣泛應(yīng)用于冶金、半導(dǎo)體、電子等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。
描述：
人機(jī)工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°-30°轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。
管鏡
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換，切換簡(jiǎn)單、方便。其中1X NUV對(duì)355nm和532nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，1X NIR對(duì)532nm和1064nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，當(dāng)使用這3個(gè)波長(zhǎng)的激光器時(shí)，可以得到更好的激光透過率。
光路切換拉桿
通過推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對(duì)光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時(shí)從攝像接口上入射的激光100%的進(jìn)入光路，了激光效率；當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時(shí)即可用雙目頭觀察，同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
偏光觀察
主體上留有偏光插孔，插上偏光附件（選配件），可進(jìn)行偏光觀察。
調(diào)焦機(jī)構(gòu)
PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)舒適，工作。調(diào)焦機(jī)構(gòu)可承載45磅（20.4Kg），安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。
轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器，使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙，可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中。
物鏡
PSM-1000采用長(zhǎng)工作距離的無(wú)應(yīng)力平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡，提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請(qǐng)參照APO物鏡樣本。
數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數(shù)碼攝像系統(tǒng)，就可以在電腦、電視或器上同步觀察。
照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng)，光源采用外置冷光源。長(zhǎng)達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器（選配件）給PSM-1000帶來(lái)更自由的操作空間。
探測(cè)工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測(cè)工作站上，進(jìn)行硅片的測(cè)試。
激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光定位銷，雙目頭前留有安裝激光濾的位置，并提供補(bǔ)償墊片。無(wú)需的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光濾安裝上。
注：在安裝和使用激光器之前，請(qǐng)您仔細(xì)閱讀激光器和激光濾的使用手冊(cè)。由于在PSM-1000上使用激光器和激光濾而產(chǎn)生的和性能問題，麥克奧迪實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司對(duì)此概不負(fù)責(zé)。
描述：
人機(jī)工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°-30°轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。
管鏡
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換，切換簡(jiǎn)單、方便。其中1X NUV對(duì)355nm和532nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，1X NIR對(duì)532nm和1064nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，當(dāng)使用這3個(gè)波長(zhǎng)的激光器時(shí)，可以得到更好的激光透過率。
光路切換拉桿
通過推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對(duì)光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時(shí)從攝像接口上入射的激光100%的進(jìn)入光路，了激光效率；當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時(shí)即可用雙目頭觀察，同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
偏光觀察
主體上留有偏光插孔，插上偏光附件（選配件），可進(jìn)行偏光觀察。
調(diào)焦機(jī)構(gòu)
PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)舒適，工作。調(diào)焦機(jī)構(gòu)可承載45磅（20.4Kg），安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。
轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器，使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙，可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中。
物鏡
PSM-1000采用長(zhǎng)工作距離的無(wú)應(yīng)力平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡，提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請(qǐng)參照APO物鏡樣本。
數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數(shù)碼攝像系統(tǒng)，就可以在電腦、電視或器上同步觀察。
照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng)，光源采用外置冷光源。長(zhǎng)達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器（選配件）給PSM-1000帶來(lái)更自由的操作空間。
探測(cè)工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測(cè)工作站上，進(jìn)行硅片的測(cè)試。
激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光定位銷，雙目頭前留有安裝激光濾的位置，并提供補(bǔ)償墊片。無(wú)需的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光濾安裝上。
注：在安裝和使用激光器之前，請(qǐng)您仔細(xì)閱讀激光器和激光濾的使用手冊(cè)。由于在PSM-1000上使用激光器和激光濾而產(chǎn)生的和性能問題，麥克奧迪實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司對(duì)此概不負(fù)責(zé)。
其他說明
| PSM-1000主要技術(shù)參數(shù) | |
| 目鏡 | WF10X/24, 視場(chǎng)直徑Φ 24mm, 矯正色差 |
| 雙目頭 | 瞳距調(diào)節(jié)范圍55-75mm |
| 上主體 | 分光比為50: 50或0.100 |
| 管鏡 | 1X NUV/VIS; 1X NIR/VIS; 2X VIS |
| 轉(zhuǎn)換器 | 4孔, 中心可調(diào) |
| 物鏡 | 長(zhǎng)工作距離或長(zhǎng)工作距離; 無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)復(fù)消色差; 齊焦距離: 95mm; 連接螺紋: M26X1/36" (0.706); 齊焦機(jī)構(gòu)(可選) |
| 調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 調(diào)焦行程: 52mm; 粗動(dòng)手輪4mm/轉(zhuǎn); 微動(dòng)手輪0.1mm/轉(zhuǎn); 微動(dòng)手輪1μ m/格; 承載重量: 45磅(20.4Kg) |
| 照明系統(tǒng) | 同軸垂直照明, 可變孔徑光欄(Φ 0.8~Φ 0.6) |
| 冷光源 | 輸入電壓:110V或220V; 150W/21V; 鹵素?zé)暨b控器(可選) |
| 移動(dòng)載物臺(tái) | XY行程: 75X50mm |
| 人機(jī)工程頭部 | 轉(zhuǎn)動(dòng)范圍3° ~ 30° |
