1. 特點及應用領域
氣體質量流量控制器（流量計）（M gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。
S49系列質量流量控制器(流量計)特點：
*采用主體不銹鋼（316L）結構，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON®、聚四氟乙烯等
*適用于各種腐蝕性氣體
*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準
*高
*重復性好
*響應速度快、軟啟動、穩定
*低壓降
*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安裝
*便于與計算機連接實現自動控制。
S49系列質量流量控制器(流量計)主要應用領域：
*半導體制造行業的氣體流量控制
*分析儀器設備的氣體計量與控制
*各種形式的真空鍍膜設備
*環境檢測與分析設備
*化工、石化、食品行業氣體流量監測和控制
*特種材料表面處理裝置與燃燒控制
*混氣配氣系統和泄漏探測系統等
2．S49系列質量流量控制器(流量計)型號
本產品采用中華人民共和國電子行業標準SJ/T10583-94以及SJ37所規定的通用技術條件及命名方法。
質量流量計主要測量氣體流量，質量流量控制器不但具有質量流量計的功能還具備自動控制氣體流量的功能。
型式批準證書:2011F215-11
執行Q/CYHMT001-2011企業標準
許可證編號：京制號
3．主要技術指標
質量流量控制器(流量計)出廠通常用氮氣（N2）標定。
質量流量的單位規定為: 標準狀態 mL/min (毫升/分鐘) (SCCM行業標準)
標準狀態L/min （升/分鐘） (SLM行業標準)
標準狀態規定為:溫度 --- 0℃
氣壓 — 101325 Pa
F.S (Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 33M/MT型質量流量控制器(流量計)技術指標
編號 | 項目 | S49 33/MT | ||
1 | 流量規格 | (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min | (15,20,30) L/min | |
2 | 調節閥類型 | 電磁調節閥 | ||
3 | 調節閥靜止位置 | 常閉 | ||
4 | 準確度 | ± 1.0% F.S | ± 2.0% F.S | |
5 | 線性 | ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S | ||
6 | 重復 | ±0.2 %F.S | ||
7 | 響應時間 | ≤8 s（T95） | ||
8 | 工作壓差范圍 | (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa | ||
9 | 耐壓 | 3 MPa ﹑ 10 MPa | ||
10 | 工作環境溫度 | 5℃ ～ 45℃ | ||
11 | 材料 | 不銹鋼316L | ||
12 | 標準密封材料 | Viton®﹑EPDM, 或其他 | ||
13 | 漏率 | 1×10-8 Pa.m3/s | ||
14 | 接頭 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其它 | ||
15 | 輸入輸出信號 | 0 V ～ +5.00 V (輸入阻大于100K, 輸出電流不大于3mA) | ||
16 | 電源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA | ||
17 | 外形尺寸 mm | 134×134×38 | ||
18 | 重量 kg | 1.2 | ||
注意： S49系列質量流量控制器(流量計)分不同的流量范圍，供用戶選擇，也可根據用戶提出流量定制。
