產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PR系列白光干涉三維形貌儀是采用日本技術(shù)研制開(kāi)發(fā)的測(cè)量?jī)x器，該儀器擁有多項(xiàng)國(guó)內(nèi)發(fā)明。儀器采用白光干涉原理，測(cè)量樣品表面微細(xì)形狀分布。是綜合運(yùn)用光電子技術(shù)、微弱信號(hào)檢測(cè)技術(shù)、精密機(jī)械設(shè)計(jì)和加工技術(shù)、數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)、應(yīng)用光學(xué)技術(shù)、精密控制技術(shù)、計(jì)算機(jī)采集和控制技術(shù)、高分辨圖形處理技術(shù)等現(xiàn)代科技成果的光、機(jī)、電一體化的高科技產(chǎn)品。為使用者提供高度、高解析度、快速、非接觸的三維形貌測(cè)量?？梢钥焖贉y(cè)量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸至納米級(jí)別。操作方便快捷、應(yīng)用范圍廣泛。儀器分高型(PR06系列)和標(biāo)準(zhǔn)型（PR05系列），滿足用戶(hù)不同級(jí)別的測(cè)量需求。

產(chǎn)品特點(diǎn)

非接觸測(cè)量避免被測(cè)件受損
度測(cè)量可達(dá)97μm/s
高測(cè)量垂直解析度0.1nm，水平解析度0.43um
高穩(wěn)定測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階重復(fù)測(cè)量性≤1% @1σ
大面積測(cè)量自動(dòng)縫合的大范圍型號(hào)可供選擇
技術(shù)的解析算法
透明膜形狀測(cè)定功能
友好的人機(jī)界面PuruiVision應(yīng)用軟件大
多參數(shù)選擇可以測(cè)量三維形貌、粗糙度等指標(biāo)
適用范圍廣可以測(cè)量多種類(lèi)型樣品的表面結(jié)構(gòu)
真正意義上的免維護(hù)設(shè)備
優(yōu)良的性?xún)r(jià)比 

應(yīng)用領(lǐng)域

精密機(jī)械加工表面/半導(dǎo)體硅片及設(shè)備/MEMS裝置表面/磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)設(shè)備/材料/光電精密制造/金屬摩擦學(xué)/薄膜陶瓷等表面/聚合物和生物材料/光學(xué)器件表面

性能參數(shù)表

測(cè)量實(shí)例