多角度激光橢偏儀(PH-LE型)專門針對晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量，能夠測量薄膜厚度及其光學常數(shù)，使用632.8nm波長氦氖激光器，具有高的度和準確度。
多角度激光橢偏儀-產(chǎn)品特點
■可以測量單晶電池片、多晶電池片
■可以測量拋光片，度和準確度高
■可以測量粗糙表面的“絨片”
■適用于對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強進行測量
■可對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數(shù)（偏振因數(shù)）進行測量和評估，測量
■配置有高穩(wěn)定度補償器，提供小的漂移值和小的測量誤差
■配置有高的自動光學對準顯微鏡
■可進行20°－90°范圍內(nèi)的多角度測量
多角度激光橢偏儀-測量特點
■非破環(huán)性檢測
■樣品準直簡單方便
■測量速度快
■可變?nèi)肷浣欠秶鷮?/span>
■測量
■軟件分析
多角度激光橢偏儀-技術指標
■光源：He-Ne激光器
■光斑直徑：1-2mm
■入射角范圍：20°到90°,5°/步
■：0.002°~ 0.02°
■膜厚：0.01mm，對100nmSiO2on Si
■折射率：0.0005，對100nmSiO2on Si
■激光光斑：直徑1mm
■激光波長632.8 nm
多角度激光橢偏儀-典型客戶
美國，歐洲，亞洲及國內(nèi)太陽能及半導體客戶。
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