隔膜壓縮機（diaphragm　compressor）
　　靠隔膜在氣缸中作往復運動來壓縮和輸送氣體的往復壓縮機。隔膜沿周邊由兩限制板夾緊并組成氣缸，隔膜由液壓驅動在氣缸內往復運動，從而實現對氣體的壓縮和輸送。具有壓縮比大，壓力范圍廣，密封性好的特點。由于它的氣腔不需要任何潤滑，從而了壓縮氣體的純度，適用于易燃易爆，有毒有害，高純度氣體的壓縮，輸送和裝瓶。（如氫氣，氧氣，乙炔，氬氣，氮氣，二氧化碳，六氟化硫等）。根據排氣壓力的不同，一般制成為單級或兩級的。
　　進氣壓力：0-15MPa　排氣壓力：0.5-40MPa　流量：5-1000Nm3/h
　　
　　隔膜壓縮機工作原理：
　　隔膜式壓縮機是兩個系統的結合——液壓油系統和氣體壓縮系統。金屬膜片將兩個部分隔離開氣體壓縮體系：氣體壓縮系統包括三層金屬膜片和氣體和出口閥。
　　
　　液壓油系統：液壓油系統包括一個由電機驅動的曲軸、活塞和連桿，通過活塞往復運動，產生液壓力，推動底層膜片向氣體側運動，從而壓縮氣體，將氣體排出。液壓系統的另一個組件是補償油泵、止回閥和壓力調節閥，液壓油系統在壓縮循環過程中一直處于充滿液壓油狀態。在壓縮過程中，止回閥將液壓油和補償油泵隔離開，液壓油回流，同時壓力調節閥控制液壓力，從而形成液壓油系統的壓力
　　
　　1）當活塞處于底部時，液壓系統被補償油泵注入液壓油，氣體在入口壓力下通過入口進氣閥進入膜腔，把膜片推動到膜腔的底部。膜腔被充滿氣體，當曲軸旋轉，活塞從底部向頂部移動，液壓油系統壓力升高，當液壓力壓縮氣體壓力時，膜片向腔體的頂部移動，壓縮氣體。
　　2）當膜腔內的氣體壓力排氣閥背壓時，排氣閥打開，氣體排出，液壓系統壓力繼續增加，膜片繼續向頂部移動，限度地氣體排量和效率，當膜片已經地進入腔體頂部，活塞繼續運動到頂部，此時，通過液壓力打開液壓力控制閥，液壓油返回曲軸箱，液壓油調節閥的設定壓力比出口壓力高（通常為出口壓力的1.2倍），因此可氣體的出口壓力設計值，此時，壓縮循環完成，活塞開始向底部移動。
　　3）當活塞向底部移動時，余隙氣體和吸入氣體推動膜片組朝向腔體的底部運行，整個循環完成。