MarSurf LD130
日益增加的各種測量任務需要要求了對粗糙度和輪廓度的同事測量。為了滿足這一需求，測量單元須實現別的計量性能。亞納米級的分別率，小于20nm的RZ殘余誤差是需求中的兩項。
粗糙度和輪廓度二合一
的測量和定位大的縮短了測量時間
性的測頭系統解決方案
測臂的實時識別帶來更快和更的測臂更換
基于標準化設計的友好界面，不需要的拆分機器即可實現儀器的保養


MarSurf LD 260
磁性測量基座支持多種測頭，更換簡單，維護保養
？ 定位可到微米，有碰撞保護，納米級的分辨率高剛性和穩定性
？ 的結果得益于用于高測量的校準程序
？ 軟件可設置測量力，在整個執行過程中恒定，測量靈和性。可以選擇適合的測量力來滿足工件的材料特性和所選測針
？ 在MarSurf X系列中可通過形態過濾來
？ 測臂更換不需要重新校準，磁性基座和每個測臂的校準數據被單獨保存可測量的重復性
開始操作儀器便可以對形貌進行測量監督
盡早識別誤差，節省糾正時間
儀器可輸出不同的輪廓數據格式，并對機械加工進行控制（循環）
增加靈和實用性
不同類型的旋轉對稱非球面只可用一套設備進行測量，不需額外增加設備
測量結果正確無誤
高的MarSurf LD 260是測量工件的基礎，垂直方向分辨率2nm，形狀誤差小于100nm，了非球面產品的再現性
整座測量系統固定在控制柜中，附件的減震裝置大大降低了周圍環境對設備的影響
MarSurf LD 260 采用內置激光測量系統，是高質量，高的輪廓和粗糙度測量儀，測量既可評價輪廓也可評價粗糙度。對于這些測量任務，你需要擁有大行程測量來測量輪廓半徑和nm級的粗糙度的兩臺設備，而我們的一臺儀器可以滿足兩種不同方式的測量
與激光干涉儀比較，接觸式測量技術可實現光學粗糙度表面2D和3D測量，所以可在加工前進行測量和修正（精磨）。