Etalon激光跟蹤儀的主要技術參數：
激光跟蹤儀是專門為機床及三坐標測量儀而開發的測量儀器。激光跟蹤儀是一種具有溫度穩定性的跟蹤干涉儀。其主要技術參數如下所示：
分辨率：0，001µm
長度測量誤差：0，2µm＋0，3µm／m
測量范圍：10m，通過數學疊加可以擴展
檢測方法的優勢：
使用Etalon激光跟蹤儀進行誤差檢測及捕捉具有如下優勢：
性：對機床整個工作空間的誤差測定需幾個小時
性：通過高激光長度測量完成對誤差的完整分析
性：使用激光跟蹤儀能在機床或三坐標測量儀整個工作空間內進行完整測量
完整性：現存機床幾何誤差的捕捉、評估及可視化
靈：根據客戶需求可將測量到的誤差轉化成AFM格式校正數據。
激光跟蹤儀是專門為機床及三坐標測量儀而開發的測量儀器。激光跟蹤儀是一種具有溫度穩定性的跟蹤干涉儀。其主要技術參數如下所示：
分辨率：0，001µm
長度測量誤差：0，2µm＋0，3µm／m
測量范圍：10m，通過數學疊加可以擴展
檢測方法的優勢：
使用Etalon激光跟蹤儀進行誤差檢測及捕捉具有如下優勢：
性：對機床整個工作空間的誤差測定需幾個小時
性：通過高激光長度測量完成對誤差的完整分析
性：使用激光跟蹤儀能在機床或三坐標測量儀整個工作空間內進行完整測量
完整性：現存機床幾何誤差的捕捉、評估及可視化
靈：根據客戶需求可將測量到的誤差轉化成AFM格式校正數據。
