產(chǎn)品簡(jiǎn)介Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀（共聚焦+白光干涉）：使用sensofar專有技術(shù)開發(fā)的Neox光學(xué)輪廓儀，集成了共聚焦計(jì)數(shù)和干涉測(cè)量技術(shù)，并具有薄膜測(cè)量能力，該系統(tǒng)可以用于標(biāo)準(zhǔn)的明場(chǎng)彩色顯微成像，共焦成像，三維共焦建模，PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測(cè)量。 產(chǎn)品詳細(xì)信息 使用Sensofar專有技術(shù)開發(fā)的neox光學(xué)輪廓儀，其共聚焦部分的主要優(yōu)點(diǎn)是有著高發(fā)光效率的照明硬件和高對(duì)比度算法。這些特點(diǎn)使系統(tǒng)成為測(cè)量有著陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有異種材料樣品的理想設(shè)備。干涉光學(xué)系統(tǒng)和集成壓電掃描器是干涉輪廓儀部分的關(guān)鍵。這項(xiàng)技術(shù)對(duì)于測(cè)量光滑至適度粗糙的表面比較理想。這些技術(shù)的組合為neox輪廓儀提供了無(wú)限寬廣的應(yīng)用領(lǐng)域。 Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀 Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀可用于標(biāo)準(zhǔn)的明場(chǎng)彩色顯微成像、共焦成像、三維共焦建模、PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測(cè)量。沒有移動(dòng)部件使其擁有堅(jiān)固而緊湊的設(shè)計(jì)，同時(shí)也使得該探頭適合很多OEM應(yīng)用。其簡(jiǎn)單的、合人體工程學(xué)的軟件界面使用戶獲得快的測(cè)量速度，方便地切換適當(dāng)?shù)奈镧R，調(diào)焦，并選擇適當(dāng)?shù)牟杉Ｊ郊纯伞?br />
※ 微顯示共聚焦掃描
目前的共聚焦顯微鏡都使用有著可移動(dòng)機(jī)械裝置的鏡面掃描頭，這會(huì)限制其使用壽命，并且在率時(shí)降低像素抖動(dòng)優(yōu)化效果。對(duì)于共焦掃描，neox使用基于微型顯示器的Sensofar技術(shù)。該微型顯示器基于鐵電液晶硅(FLCoS)，一種沒有運(yùn)動(dòng)部件的快速切換裝置，使共焦圖像的掃描更快速、穩(wěn)定并擁有無(wú)限的壽命。
※ 彩色CCD攝像頭
Neox使用一個(gè)高分辨率的黑白CCD攝像頭為系統(tǒng)計(jì)量探頭。另一個(gè)彩色攝像頭可用于明場(chǎng)表面觀察。這樣使得它很容易找出所分析樣品的特點(diǎn)。此外，地貌測(cè)量功能可得到全聚焦彩色圖像。該系統(tǒng)在垂直掃描過(guò)程中記錄圖像合焦位置像素，并和其Z軸位置匹配從而得到全聚焦彩色圖像，并以此來(lái)創(chuàng)建出色的三維模型。
※ 物鏡
Neox使用的CFI60 Nikon物鏡，在各NA時(shí)都有的工作距離。可選用的物鏡過(guò)50種，每一款都可對(duì)應(yīng)某種應(yīng)用：可用于共聚焦成像和建模的較高NA，倍率范圍2.5X至200X，長(zhǎng)工作距離，工作距離及浸水物鏡；帶調(diào)焦環(huán)的物鏡可在厚2mm范圍的透明介質(zhì)對(duì)焦；2.5X至100X帶參考鏡校正及傾斜的物鏡。
※ 雙垂直掃描器
雙垂直掃描器包括一個(gè)電動(dòng)平臺(tái)和壓電掃描器，以獲得的掃描范圍和的測(cè)量及重復(fù)。高定位的線性平臺(tái)行程40mm，小步進(jìn)可達(dá)10nm，用于共聚焦掃描理想。集成的壓電掃描器掃描范圍200μm，壓電電阻傳感器高定位分辨率0.2nm，全行程1nm。現(xiàn)有的其它掃描平臺(tái)使用光學(xué)編碼器，30nm且不確定，限制了系統(tǒng)的度和重復(fù)性。結(jié)合線性平臺(tái)和壓電掃描器的設(shè)計(jì)，使Neox在0.1納米至幾毫米測(cè)量范圍內(nèi)擁有業(yè)界的，線性和重復(fù)性。
※ 集成反射光譜儀
共聚焦及干擾法測(cè)量薄膜厚度的實(shí)際限制約為1μm單層膜。Neox集成了一個(gè)反射光譜儀，通過(guò)光纖進(jìn)行薄膜的測(cè)量，厚度范圍在10nm，可達(dá)10層膜。該光纖通過(guò)顯微目鏡成像，因此，薄膜測(cè)量點(diǎn)尺寸小可達(dá)5微米。測(cè)量使用集成的LED光源，可提供樣品以及薄膜測(cè)量的實(shí)時(shí)明場(chǎng)影像。
※ 雙LED
照明光源內(nèi)置了兩個(gè)高功率LED，其中白光LED用于彩色明場(chǎng)觀察，薄膜測(cè)量，VSI和ePSI。另一個(gè)藍(lán)光LED用于高分辨率共聚焦影像和PSI。藍(lán)光LED較短的波長(zhǎng)可水平分辨率至0.15μm(L&S)，并PSI噪聲為0.01nm垂直分辨率。
※ 度 (12.5 fps 共聚焦幀速率)
基于FLCoS微型顯示器的轉(zhuǎn)換速度和的快速共聚焦算法，本設(shè)備可12.5幀/秒的共聚焦圖像幀率，垂直3D掃描8層/秒，這意味著3D共焦測(cè)量掃描速度范圍為0.5至350μm/s。干涉掃描速度為50 fps，即垂直掃描速度800μm/s。典型的測(cè)量時(shí)長(zhǎng)，其中包括掃描后的運(yùn)算，通常小于5秒。
Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀特點(diǎn)：
Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀主要功能：
※共聚焦 (Confocal Profiling)
共聚焦輪廓儀可以測(cè)量較光滑或粗糙的表面高度。借助消除虛焦部分光線的共焦成像系統(tǒng)，可提供高對(duì)比度的圖像。籍由表面的垂直掃描，物鏡的焦點(diǎn)掃過(guò)表面上的每一個(gè)點(diǎn)，以此找出每個(gè)像素位置的對(duì)應(yīng)高度(即共聚焦圖像)。
共聚焦輪廓儀可以由其光學(xué)組件實(shí)現(xiàn)的水平解析度，空間采樣可以減小到0.10μm，這是一些重要尺寸測(cè)量的理想選擇。高數(shù)值孔徑NA(0.95)和放大倍率(150X和200X)的物鏡可測(cè)量斜率過(guò)70°的光滑表面。neox具有高的光效，專有的共聚焦算法可提供納米級(jí)的垂直方向重復(fù)性。長(zhǎng)工作距離(SLWD)可測(cè)量高寬比較大、形狀較陡的樣品。
※干涉(Interferometry)
● PSI 模式 (PSI Profiling)
相位差干涉儀 (Phase Shift Interferometers)可以亞納米級(jí)的分辨率測(cè)量光滑與和連續(xù)的表面高度。須準(zhǔn)確對(duì)焦在樣品上，并進(jìn)行多步垂直掃描，步長(zhǎng)是波長(zhǎng)的的分?jǐn)?shù)。PSI算法借助適當(dāng)?shù)某绦驅(qū)⒈砻嫦辔粓D轉(zhuǎn)換為樣品高度分布圖。
PSI模式可在的數(shù)值孔徑(NA)下提供亞納米級(jí)的垂直分辨率。放大倍率較小時(shí)(2.5X)可以測(cè)量較大視場(chǎng)范圍，并具有同樣的垂直分辨率。但是光波相干長(zhǎng)度使其測(cè)量范圍限制在。PSI算法使neox 得到納米尺度的形態(tài)特征，并以亞納米尺度對(duì)平滑的表面紋理參數(shù)作出評(píng)估。
● VSI 模式 (VSI Profiling)
白光干涉儀 (White-Light Vertical Scanning Interferometers)可用于測(cè)量光滑表面或適度粗糙表面的高度。當(dāng)樣品表面各個(gè)點(diǎn)處于焦點(diǎn)位置時(shí)可得到干涉條紋對(duì)比度。多步垂直掃描樣品，表面上的每一個(gè)點(diǎn)會(huì)通過(guò)對(duì)焦點(diǎn)，通過(guò)檢測(cè)干涉條紋峰值得到各像素位置的高度。
VSI模式可在的數(shù)值孔徑(NA)下提供納米級(jí)垂直分辨率。VSI算法使neox在各放大倍率下得到具有相同垂直分辨率的形態(tài)特征。其測(cè)量范圍在理論上是無(wú)限的，盡管在實(shí)踐中其將受限于物鏡實(shí)際工作距離。掃描速度和數(shù)據(jù)采集速率可以快，當(dāng)然這會(huì)導(dǎo)致程度垂直分辨率損失。※薄膜測(cè)量 (Thin Film)
光譜反射法是薄膜測(cè)量的方法之一，因?yàn)樗鼫?zhǔn)確、、且無(wú)需制備樣品。測(cè)量時(shí)，白光照射到樣品表面，并將在膜層中的不同界面反射，并發(fā)生干涉和疊加效應(yīng)。結(jié)果，反射光強(qiáng)度將顯示出波長(zhǎng)變化，這種變化取決于薄膜結(jié)構(gòu)不同層面的厚度和折射率。軟件將測(cè)得的真實(shí)光譜同模擬光譜進(jìn)行比較擬合，并不斷優(yōu)化厚度值，直到實(shí)現(xiàn)匹配。
Neox也可用作高分辨率的薄膜測(cè)量系統(tǒng)，它適用于單層箔，膜或基板上的單層薄膜，而且還可以處理更復(fù)雜結(jié)構(gòu)(可至基板上10層薄膜)。可在一秒內(nèi)測(cè)量從10nm到20μm的透明薄膜，厚度分辨率0.1 nm，橫向分辨率達(dá)5μm。
Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀使用Sensofar專有技術(shù)開發(fā)的neox光學(xué)輪廓儀，其共聚焦部分的主要優(yōu)點(diǎn)是有著高發(fā)光效率的照明硬件和高對(duì)比度算法。這些特點(diǎn)使系統(tǒng)成為測(cè)量有著陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有異種材料樣品的理想設(shè)備。干涉光學(xué)系統(tǒng)和集成壓電掃描器是干涉輪廓儀部分的關(guān)鍵。這項(xiàng)技術(shù)對(duì)于測(cè)量光滑至適度粗糙的表面比較理想。這些技術(shù)的組合為neox輪廓儀提供了無(wú)限寬廣的應(yīng)用領(lǐng)域。
Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀可用于標(biāo)準(zhǔn)的明場(chǎng)彩色顯微成像、共焦成像、三維共焦建模、PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測(cè)量。沒有移動(dòng)部件使其擁有堅(jiān)固而緊湊的設(shè)計(jì)，同時(shí)也使得該探頭適合很多OEM應(yīng)用。其簡(jiǎn)單的、合人體工程學(xué)的軟件界面使用戶獲得快的測(cè)量速度，方便地切換適當(dāng)?shù)奈镧R，調(diào)焦，并選擇適當(dāng)?shù)牟杉Ｊ郊纯伞?br />特點(diǎn)：
※ 微顯示共聚焦掃描
目前的共聚焦顯微鏡都使用有著可移動(dòng)機(jī)械裝置的鏡面掃描頭，這會(huì)限制其使用壽命，并且在率時(shí)降低像素抖動(dòng)優(yōu)化效果。對(duì)于共焦掃描，neox使用基于微型顯示器的Sensofar技術(shù)。該微型顯示器基于鐵電液晶硅(FLCoS)，一種沒有運(yùn)動(dòng)部件的快速切換裝置，使共焦圖像的掃描更快速、穩(wěn)定并擁有無(wú)限的壽命。
※ 彩色CCD攝像頭
Neox使用一個(gè)高分辨率的黑白CCD攝像頭為系統(tǒng)計(jì)量探頭。另一個(gè)彩色攝像頭可用于明場(chǎng)表面觀察。這樣使得它很容易找出所分析樣品的特點(diǎn)。此外，地貌測(cè)量功能可得到全聚焦彩色圖像。該系統(tǒng)在垂直掃描過(guò)程中記錄圖像合焦位置像素，并和其Z軸位置匹配從而得到全聚焦彩色圖像，并以此來(lái)創(chuàng)建出色的三維模型。
※ 物鏡
Neox使用的CFI60 Nikon物鏡，在各NA時(shí)都有的工作距離。可選用的物鏡過(guò)50種，每一款都可對(duì)應(yīng)某種應(yīng)用：可用于共聚焦成像和建模的較高NA，倍率范圍2.5X至200X，長(zhǎng)工作距離，工作距離及浸水物鏡；帶調(diào)焦環(huán)的物鏡可在厚2mm范圍的透明介質(zhì)對(duì)焦；2.5X至100X帶參考鏡校正及傾斜的物鏡。
※ 雙垂直掃描器
雙垂直掃描器包括一個(gè)電動(dòng)平臺(tái)和壓電掃描器，以獲得的掃描范圍和的測(cè)量及重復(fù)。高定位的線性平臺(tái)行程40mm，小步進(jìn)可達(dá)10nm，用于共聚焦掃描理想。集成的壓電掃描器掃描范圍200μm，壓電電阻傳感器高定位分辨率0.2nm，全行程1nm。現(xiàn)有的其它掃描平臺(tái)使用光學(xué)編碼器，30nm且不確定，限制了系統(tǒng)的度和重復(fù)性。結(jié)合線性平臺(tái)和壓電掃描器的設(shè)計(jì)，使Neox在0.1納米至幾毫米測(cè)量范圍內(nèi)擁有業(yè)界的，線性和重復(fù)性。
※ 集成反射光譜儀
共聚焦及干擾法測(cè)量薄膜厚度的實(shí)際限制約為1μm單層膜。Neox集成了一個(gè)反射光譜儀，通過(guò)光纖進(jìn)行薄膜的測(cè)量，厚度范圍在10nm，可達(dá)10層膜。該光纖通過(guò)顯微目鏡成像，因此，薄膜測(cè)量點(diǎn)尺寸小可達(dá)5微米。測(cè)量使用集成的LED光源，可提供樣品以及薄膜測(cè)量的實(shí)時(shí)明場(chǎng)影像。
※ 雙LED
照明光源內(nèi)置了兩個(gè)高功率LED，其中白光LED用于彩色明場(chǎng)觀察，薄膜測(cè)量，VSI和ePSI。另一個(gè)藍(lán)光LED用于高分辨率共聚焦影像和PSI。藍(lán)光LED較短的波長(zhǎng)可水平分辨率至0.15μm(L&S)，并PSI噪聲為0.01nm垂直分辨率。
※ 度 (12.5 fps 共聚焦幀速率)
基于FLCoS微型顯示器的轉(zhuǎn)換速度和的快速共聚焦算法，本設(shè)備可12.5幀/秒的共聚焦圖像幀率，垂直3D掃描8層/秒，這意味著3D共焦測(cè)量掃描速度范圍為0.5至350μm/s。干涉掃描速度為50 fps，即垂直掃描速度800μm/s。典型的測(cè)量時(shí)長(zhǎng)，其中包括掃描后的運(yùn)算，通常小于5秒。
規(guī)格：
配置
應(yīng)用示例：
壓力傳感器
壓力傳感器陣列，10x VSI模式，F(xiàn)OV=1mm2
太陽(yáng)能電池
鋁表面粗糙度
棱鏡
壓力傳感器
微透鏡陣列
平板顯示器Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀主要功能：
※共聚焦 (Confocal Profiling)
共聚焦輪廓儀可以測(cè)量較光滑或粗糙的表面高度。借助消除虛焦部分光線的共焦成像系統(tǒng)，可提供高對(duì)比度的圖像。籍由表面的垂直掃描，物鏡的焦點(diǎn)掃過(guò)表面上的每一個(gè)點(diǎn)，以此找出每個(gè)像素位置的對(duì)應(yīng)高度(即共聚焦圖像)。
共聚焦輪廓儀可以由其光學(xué)組件實(shí)現(xiàn)的水平解析度，空間采樣可以減小到0.10μm，這是一些重要尺寸測(cè)量的理想選擇。高數(shù)值孔徑NA(0.95)和放大倍率(150X和200X)的物鏡可測(cè)量斜率過(guò)70°的光滑表面。neox具有高的光效，專有的共聚焦算法可提供納米級(jí)的垂直方向重復(fù)性。長(zhǎng)工作距離(SLWD)可測(cè)量高寬比較大、形狀較陡的樣品。※干涉(Interferometry)
● PSI 模式 (PSI Profiling)
相位差干涉儀 (Phase Shift Interferometers)可以亞納米級(jí)的分辨率測(cè)量光滑與和連續(xù)的表面高度。須準(zhǔn)確對(duì)焦在樣品上，并進(jìn)行多步垂直掃描，步長(zhǎng)是波長(zhǎng)的的分?jǐn)?shù)。PSI算法借助適當(dāng)?shù)某绦驅(qū)⒈砻嫦辔粓D轉(zhuǎn)換為樣品高度分布圖。
PSI模式可在的數(shù)值孔徑(NA)下提供亞納米級(jí)的垂直分辨率。放大倍率較小時(shí)(2.5X)可以測(cè)量較大視場(chǎng)范圍，并具有同樣的垂直分辨率。但是光波相干長(zhǎng)度使其測(cè)量范圍限制在。PSI算法使neox 得到納米尺度的形態(tài)特征，并以亞納米尺度對(duì)平滑的表面紋理參數(shù)作出評(píng)估。
● VSI 模式 (VSI Profiling)
白光干涉儀 (White-Light Vertical Scanning Interferometers)可用于測(cè)量光滑表面或適度粗糙表面的高度。當(dāng)樣品表面各個(gè)點(diǎn)處于焦點(diǎn)位置時(shí)可得到干涉條紋對(duì)比度。多步垂直掃描樣品，表面上的每一個(gè)點(diǎn)會(huì)通過(guò)對(duì)焦點(diǎn)，通過(guò)檢測(cè)干涉條紋峰值得到各像素位置的高度。
VSI模式可在的數(shù)值孔徑(NA)下提供納米級(jí)垂直分辨率。VSI算法使neox在各放大倍率下得到具有相同垂直分辨率的形態(tài)特征。其測(cè)量范圍在理論上是無(wú)限的，盡管在實(shí)踐中其將受限于物鏡實(shí)際工作距離。掃描速度和數(shù)據(jù)采集速率可以快，當(dāng)然這會(huì)導(dǎo)致程度垂直分辨率損失。※薄膜測(cè)量 (Thin Film)
光譜反射法是薄膜測(cè)量的方法之一，因?yàn)樗鼫?zhǔn)確、、且無(wú)需制備樣品。測(cè)量時(shí)，白光照射到樣品表面，并將在膜層中的不同界面反射，并發(fā)生干涉和疊加效應(yīng)。結(jié)果，反射光強(qiáng)度將顯示出波長(zhǎng)變化，這種變化取決于薄膜結(jié)構(gòu)不同層面的厚度和折射率。軟件將測(cè)得的真實(shí)光譜同模擬光譜進(jìn)行比較擬合，并不斷優(yōu)化厚度值，直到實(shí)現(xiàn)匹配。
Neox也可用作高分辨率的薄膜測(cè)量系統(tǒng)，它適用于單層箔，膜或基板上的單層薄膜，而且還可以處理更復(fù)雜結(jié)構(gòu)(可至基板上10層薄膜)。可在一秒內(nèi)測(cè)量從10nm到20μm的透明薄膜，厚度分辨率0.1 nm，橫向分辨率達(dá)5μm。 | 共聚焦物鏡 | | | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x | 150x | | 工作距離（mm） | 23.5 | 17.5 | 4.5 | 1.0 | 1.0 | 0.3 | | NA（數(shù)值孔徑） | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 | 0.95 | | FOV（mm）1 | 2546×1509 | 1270×950 | 636.61×477.25 | 254.64×190.90 | 127.32×95.45 | 84.83×63.60 | | 空間采樣（mm）2 | 3.32 | 1.66 | 0.83 | 0.33 | 0.17 | 0.11 | 光學(xué)分辨率
（L&S）（mm）3 | 0.93 | 0.47 | 0.31 | 0.17 | 0.15 | 0.11 | | 坡度4 | 8o | 14o | 21o | 42o | 51o | 71o | | 垂直分辨率（nm）5 | <400 | <50 | <20 | <3 | <2 | <1 | | 共聚焦幀速率（f/s） | 12.5fps | | 掃描速率（mm/s） | 20-320 | 10-160 | 5-80 | 1-16 | 1-16 | 0.5-8 | | 一般測(cè)量時(shí)間（s）6 | 5s |
| 共聚焦物鏡 | | | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x | 150x | | 工作距離（mm） | 23.5 | 17.5 | 4.5 | 1.0 | 1.0 | 0.3 | | NA（數(shù)值孔徑） | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 | 0.95 | | FOV（mm）1 | 2546×1509 | 1270×950 | 636.61×477.25 | 254.64×190.90 | 127.32×95.45 | 84.83×63.60 | | 空間采樣（mm）2 | 3.32 | 1.66 | 0.83 | 0.33 | 0.17 | 0.11 | 光學(xué)分辨率
（L&S）（mm）3 | 0.93 | 0.47 | 0.31 | 0.17 | 0.15 | 0.11 | | 坡度4 | 8o | 14o | 21o | 42o | 51o | 71o | | 垂直分辨率（nm）5 | <400 | <50 | <20 | <3 | <2 | <1 | | 共聚焦幀速率（f/s） | 12.5fps | | 掃描速率（mm/s） | 20-320 | 10-160 | 5-80 | 1-16 | 1-16 | 0.5-8 | | 一般測(cè)量時(shí)間（s）6 | 5s |
| 干涉物鏡 | | | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x | | 工作距離（mm） | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 | | NA（數(shù)值孔徑） | 0.055 | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.55 | 0.7 | | FOV（mm）1 | 5093×3818 | 2546×1909 | 1270×950 | 637×477 | 254×190 | 127×95 | | 空間采樣（mm）2 | 6.64 | 3.32 | 1.62 | 0.83 | 0.33 | 0.17 | | 光學(xué)分辨率 藍(lán)光（L&S）（mm）3 | 2.55 | 0.93 | 0.46 | 0.31 | 0.25 | 0.20 | | 光學(xué)分辨率 白光（L&S）（mm）3 | 3.04 | 1.11 | 0.56 | 0.37 | 0.30 | 0.24 | | 坡度4 | 3.15o | 8.6o | 14o | 21o | 25o | 42o | 垂直分辨率（nm）PSI7
垂直分辨率（nm）ePSI7 | <0.1nm（PZT 0.01nm） | | 垂直分辨率（nm）VSI7 | 1nm5mm | | 垂直范圍PSI(mm) | 5mm | | 垂直范圍ePSI(mm) | 100mm | | 垂直范圍VSI(mm) | 10mm | | 掃描速率（mm/s） | PSI：3-15mm/s VSI/ePSI：4-18mm/s | | 一般測(cè)量時(shí)間（s）9 | PSI：3s VSI：10s ePSI：30s |
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