CS-4小型探針臺

CS系列探針臺可用于6英寸以內(nèi)樣品測試 ；

可滿足I-V/C-V，PIV測試，光電測試等。

特點/應(yīng)用

◆ 滿足I-V/C-V，PIV測試，光電測試等

◆ 可用于6英寸以內(nèi)樣品測試

◆ 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu)，線性移動

◆ 可放置于手套箱內(nèi)使用

◆ 形狀輕巧，操作方便，價格實惠

探針臺-臺體規(guī)格

尺寸：4英寸/6英寸

水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

X-Y移動行程：4英寸*4英寸

X-Y移動精度：10微米

樣品臺Z軸調(diào)節(jié)：可升降10mm

樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺：U型針座平臺，最多可放置6個探針座

背電極測試：樣品臺電學(xué)獨立懸空，4mm插孔可接背電極

外形尺寸：400mm長*400mm寬*500mm高

重量：約25千克

光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡

放大倍率：16X-200X

移動行程：水平方向繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm

光源：外置LED無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源

CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素

探針座

X-Y-Z移動行程：12mm*12mm*12mm

移動精度：10um/2um/0.7um/0.5um

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

線纜：同軸線/三軸線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑：0.2um/1um/2um/5um/10um/20um

針尖材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅

可選附件

加熱臺、顯示器、轉(zhuǎn)接頭、射頻測試配件、屏蔽箱、光學(xué)平臺、鍍金卡盤、光電測試配件

可接受定制