PT2K125-160S是采用壓電陶瓷驅動的掃描臺,平臺內部使用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構,補償量小,了平臺的運動和的穩定性。平臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,定位、分辨率和穩定性可以納米量級,定位穩定時間為毫秒量級。中空式設計,且通孔較大,可更好的集成于顯微及掃描系統中。
應用
◆ 光學捕獲
◆ 掃描顯微鏡
◆ 掩模與晶片對準
◆ 掃描干涉儀
◆ 表面計量學
◆ 生物技術
◆ 微操作

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PT2K125-160S是采用壓電陶瓷驅動的掃描臺,平臺內部使用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構,補償量小,了平臺的運動和的穩定性。平臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,定位、分辨率和穩定性可以納米量級,定位穩定時間為毫秒量級。中空式設計,且通孔較大,可更好的集成于顯微及掃描系統中。
應用
◆ 光學捕獲
◆ 掃描顯微鏡
◆ 掩模與晶片對準
◆ 掃描干涉儀
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◆ 生物技術
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