- 企業(yè)類型:貿(mào)易商
- 新舊程度:全新
- 原產(chǎn)地:德國(guó)
LAwave薄膜楊氏模量無損測(cè)量設(shè)備,技術(shù)源于德國(guó)Fraunhofer IWS研究所。利用激光脈沖在薄膜或材料表面激發(fā)起表面聲波,表面聲波在不同材料中的傳播速度不同,可以通過檢測(cè)表面聲波的波速實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜或者材料硬度(楊氏模量/彈性模量)、密度和膜厚的測(cè)量。

LAwave薄膜楊氏模量無損測(cè)量設(shè)備
表面聲波波速的色散關(guān)系由薄膜與襯底的彈性模量(楊氏模量)、密度和厚度決定。將聲波探測(cè)器探測(cè)聲波波速的色散關(guān)系與理論模型計(jì)算的色散關(guān)系對(duì)比,就可以得出薄膜的楊氏模量、密度和厚度等信息。LAwave也可以測(cè)量表面有微結(jié)構(gòu)的薄膜和非均勻結(jié)構(gòu)薄膜。

測(cè)量原理示意圖
主要特性:
無損測(cè)量薄膜的厚度可以從幾納米到幾百微米
檢測(cè)材料范圍廣,從聚合物到金剛石
操作簡(jiǎn)單方便,測(cè)量速度快
小檢測(cè)面積:5x5mm
可測(cè)量多孔薄膜,表面有微納結(jié)構(gòu)的薄膜
國(guó)際測(cè)量結(jié)果
主要應(yīng)用領(lǐng)域:
超薄超硬薄膜--防護(hù)評(píng)估
多孔聚合物薄膜--楊氏模量、密度優(yōu)化
熱噴涂涂層--空隙形態(tài)評(píng)估
半導(dǎo)體、LED、光伏產(chǎn)業(yè)晶圓片--亞表面損傷探測(cè)







