CSI原子力顯微鏡的詳細(xì)介紹

多種工作模式

接觸模式

輕敲模式

CAFM（導(dǎo)電AFM）

PFM（壓電力）

MFM/EFM（磁力/靜電力）

FMM（力調(diào)制）

HD-KFM（開爾文力）

ResiScope（擴(kuò)散電阻）

STM

的電特性測(cè)量模塊

HD-KFM :

市場(chǎng)上的分辨率和靈敏度

更好的算法，更好的鎖相靈敏度

易用使用，自動(dòng)調(diào)用智能算法

ResiScope :

10個(gè)數(shù)量級(jí)測(cè)量范圍——從100Ω~1TΩ之間（競(jìng)爭(zhēng)者多只覆蓋了7個(gè)數(shù)量級(jí)）

較低的電流流經(jīng)探針/樣品（不會(huì)局部氧化，不會(huì)因?yàn)楦唠娏鲹p害探針/樣品）

同時(shí)兼容AC模式成像和EFM/MFM 模式或者HD-KFM 模式，不用做任何變動(dòng)而丟失樣品的位置！

 Soft-ResiScope :

仍然有10個(gè)數(shù)量級(jí)的測(cè)量范圍，更適合軟性樣品成像和電阻/電流測(cè)量。

適用于多種環(huán)境的測(cè)量

溫度控制：

可達(dá)200°

對(duì)于壓電器件可以進(jìn)行更穩(wěn)定的加熱分離（不漂移）

與大氣控制、液體模式和所有電測(cè)量模式(KFM,CAFM, ResiScope…) 相兼容

大氣控制（氣體和濕度）：

濕度控制不會(huì)損害光電探測(cè)器和激光器

光電探測(cè)器和激光器可以正常調(diào)節(jié)對(duì)齊

容易和快速設(shè)置

與所有電測(cè)量模式(KFM,CAFM, ResiScope…) 相兼容

液體測(cè)量：

壓電保護(hù)

激光容易對(duì)準(zhǔn)（可以利用頂部CCD在空氣中對(duì)準(zhǔn)激光）

非常穩(wěn)定的輕敲模式的使用

高品質(zhì)的測(cè)量平移式壓電掃描器：

三軸獨(dú)立

低噪音，具有原子級(jí)分辨率

100μm掃描，Z方向9μm

智能化AFM

低噪聲低功耗相干激光器

低噪音控制器（低電壓驅(qū)動(dòng)壓電掃描器）

24位DAC控制

大范圍掃描，高分辨率，且無需更換掃描器。

易于使用

自動(dòng)調(diào)諧集成鎖相

自動(dòng)設(shè)置的電子系統(tǒng)

頂部和側(cè)面CCD視圖

直觀的軟件和預(yù)先配置的AFM模式

主要的參數(shù)指標(biāo)

1、XY掃描分辨率： 0.06nm

2、Z掃描分辨率： 0.006nm

3、掃描范圍：XY向100um，Z向9um

4、超低噪音高壓：典型值：＜0.01 mV RMS

5、數(shù)據(jù)采樣點(diǎn)：高達(dá)4096

6、DAC輸出：6個(gè)D/A轉(zhuǎn)換器-24位

7、ADC輸入：8個(gè)A/D轉(zhuǎn)換器-16位

8、集成鎖相：高達(dá)6MHz

9、控制器電源：AC 100~240 V,47~63 Hz

10、計(jì)算機(jī)接口：USB2.0/3.0

11、運(yùn)行環(huán)境：運(yùn)行于Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng)

CSI原子力顯微鏡應(yīng)用領(lǐng)域

金屬，納米材料，高分子聚合物，薄膜&涂層，DNA，蛋白質(zhì)，半導(dǎo)體，光電材料，

太陽能電池，蓄電池，電化學(xué)領(lǐng)域，磁性材料，壓電領(lǐng)域，分子電子或組織，導(dǎo)電材料表面表征…

CSI原子力顯微鏡應(yīng)用實(shí)例

C36分子    掃描范圍250nm                       DNA    掃描范圍1μm

高分子聚合物 (PDES)    掃描范圍12μm

石墨烯   掃描范圍10μm

磁性三角形結(jié)構(gòu)   掃描范圍4.5μm

人造旋轉(zhuǎn)冰   掃描范圍6.5μm

PFM模式        PZT樣品   掃描范圍10μm

ResiScope模式       半導(dǎo)體摻雜劑表征    掃描范圍4μm