采用氧氣源的臭氧機得到了快速發展。目前氧氣源主要有四種方式：氧氣瓶，家用制氧機，臭氧專用制氧機，分體式制氧系統。
氧氣瓶：是臭氧發生器氧氣源代產品。 優點是性投入少，氧氣純凈。缺點是氧氣瓶是消耗材料，需經常換氧氣瓶。長期運行成本高，要經常更換，使用起來比較麻煩。在氧氣瓶充足場合可以使用氧氣瓶。
家用制氧機：是臭氧發生器氧氣源第二代產品。 采用分子篩技術，利用空氣作為原料，通過分子塔生成高濃度氧氣．氧氣濃度在 90% 以上。優點是設備容易獲得。和氧氣瓶相比，沒有消耗，不用經常換氧氣瓶。缺點是該設備本來用于不是臭氧專用設備，不能長期連續運行，不耐臭氧，不耐潮濕。通常是 3L-5L/ 分鐘產量。
臭氧專用制氧機：是臭氧發生器氧氣源第三代產品。杭州桂冠環保科技有限公司是國內推出臭氧專用制氧機廠家。采用分子篩技術，利用空氣作為原料，通過分子塔生成高濃度氧氣．氧氣濃度在 90% 以上。采用防腐蝕材料，氣源深冷，多級除濕裝置。整個設備耐腐蝕，耐潮濕，溫升低。HG系列制氧機產量通常有每分鐘 5L-50L 。
