退火系統技術附件（趙先生：）

一、       系統的主要組成及技術指標

限真空度：≤6.6x10^-5Pa (經烘烤除氣后，冷態)；

系統真空檢漏漏率：≤5.0x10^-7 Pa.l/S；

系統短時間暴露大氣并充干燥氮氣后，再開始抽氣，40分鐘可6.6x10^-4 Pa；

停泵關機12小時后真空度：≤10 Pa；

1.1 、真空室：                                                1套

約為Ф800×550（mm）圓筒型立式雙層水冷全不銹鋼結構。上蓋電動升降，外表面工藝拋光處理，下面開有泵接口，保護氣接口，鐘罩側面開有電接口，鎢錸熱電偶接口，真空規接口，壓力表接口。除上述法蘭口外，在真空室的四周適當位置留有CF35、CF63的備用法蘭口各一個，配以相應的盲板。

1.2 、樣品加熱控溫系統：                                      1套

1.2.1、溫度：工作區為Ф350×250（mm），工作區加熱溫度為1300℃。

       工作區溫度均勻性：±10℃。

1.2.2、發熱體及保溫層：圓周和上下都布置加熱體，發熱體由鉬材料制成，多層金屬屏蔽。

1.2.3、加熱電源：直流可控硅加熱電源，側發熱體加熱功率約為30KW，上下加熱功率約為15KW；

1.2.4、控溫：室溫--1300℃采用鎢錸熱電偶測溫，3點控溫，分別位于測面和上下面，采用日本產溫控儀控溫表。

1.3 、樣品架系統                                             1套

鐘蓋升起后，樣品架固定在下底盤上，將工件放在樣品架上。

1.4 、工作氣路：

1.4.1、充氣閥RF16，管路、接頭等：1路（充保護氣體）

1.4.2、充氣閥D6，管路、接頭等：1路（解除真空沖氮氣）

3、抽氣機組及閥門、管道         1套                          

3.1  、復合分子泵及變頻控制電源：1臺（抽速1200升/秒，北京）；   

3.2  、直聯機械泵：1臺（抽速8升/秒，上海）；

3.3  、KF40電磁壓差閥：1臺（上海）；

3.4  、分子泵與機械泵軟聯接金屬軟管：1套 ；

3.5  、機械泵與真空室之間的旁抽管路、KF40電磁隔斷閥及角閥CF35：1套；

3.6  、CF200-B閘板閥：1臺（用于分子泵與真空室隔離）；