- 類型：測(cè)試腔
- 測(cè)量范圍：高真空
- 測(cè)量精度：精準(zhǔn)
- 測(cè)量時(shí)間：快速
- 測(cè)量溫度：-190°C-400°C
真空測(cè)試腔：主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為φ100mm，臺(tái)面可升溫到400℃。該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口和2-4芯信號(hào)真空電極，可選用6芯電極。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，由內(nèi)部探針行將樣品電極引入腔體的信號(hào)線連接到外部測(cè)試儀器，外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來測(cè)試電子信號(hào)。
真空測(cè)試腔 技術(shù)參數(shù)；
真空腔體 | |||
類型 | 高溫型 室溫到400℃ | 高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-196℃ | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | ||
腔體內(nèi)尺寸 | Φ88mmX59mm | ||
腔體外尺寸 | Φ112X65mm | ||
腔體重量 | 約2.6KG | ||
腔體上視窗尺寸 | Φ47mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | ||
腔體抽氣口 | 可擴(kuò)展KF16法蘭 KF25法蘭 | ||
腔體真空測(cè)量口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | ||
腔體進(jìn)氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 硅膠薄膜液體注射口 氣管接頭可選 | ||
腔體電接口 | 5KV高壓電極，10KV高壓電極，4芯8A氣密封信號(hào)接口，8芯4A氣密封信號(hào)接口， | ||
腔體正壓 | ≤0.1MPa | ||
腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | ||
制冷接口 | 無 | 3mm液氮管道 | |
樣品臺(tái) | |||
樣品臺(tái)材質(zhì) | 不銹鋼 | ||
樣品臺(tái)尺寸 | 26x26mm | ||
樣品臺(tái)加熱方式 | 電阻加熱 | ||
樣品臺(tái)-視窗 距離 | 48mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | ||
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器 | PT100型鉑電阻 | ||
樣品臺(tái)溫度 | 高溫型 室溫到400℃ | 高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-196℃ | |
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差 | ±0.5℃ | ||
樣品臺(tái)升溫速率 | 高溫50℃/min 值 | ||
溫控儀 | |||
溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 | ||
溫控類型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定 30段編程控溫 | ||
溫度分辨率 | 0.1℃ | ||
溫控精度 | ±0.5℃ | ||
溫度信號(hào)輸入類型 | PT100鉑電阻（可選熱電阻 K S B型熱電偶） | ||
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | ||
輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口 | ||
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | ||
