在氣體質(zhì)量流量的測(cè)量和控制領(lǐng)域具備獨(dú)特的 技術(shù)專(zhuān)長(zhǎng)，長(zhǎng)期以來(lái)立志為客戶(hù)提供卓越及穩(wěn) 定的氣體測(cè)控技術(shù)和整體解決方案。為例如半 導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、汽車(chē)工業(yè)、新能源、醫(yī)療 設(shè)備、環(huán)境監(jiān)測(cè)，生物化學(xué)和生命科學(xué)等領(lǐng)域 的客戶(hù)提供完備的定制化服務(wù)，滿(mǎn)足其對(duì)于精 密可靠的氣體測(cè)控及工藝管理的需求，以適應(yīng) 快速迭代的終端應(yīng)用和持續(xù)提升的客戶(hù)需求。 核心團(tuán)隊(duì)擁有數(shù)十年的技術(shù)背景，對(duì)產(chǎn)業(yè)的需 求與技術(shù)有深度認(rèn)知，并具有豐富的客戶(hù)服務(wù) 經(jīng)驗(yàn)。 秉承
量程：0-5000SLPM
精度：1%RDG
可控范圍：50：1（100：1）
漏率 ： 1*10-9Pa.m3/sec(He) Metal： 1*10-11Pa.m3/sec(He)
