| 產品名稱 | PVD1006 | 數量 |
| 真空系統 | *VDN901直升泵二臺（愛發科） *RTO·150S羅茨泵一臺（上海萃曼） *TYFB-3600分子泵一臺（泰岳恒） *閥門：高閥型號為：GDZ400B型，整閥由太鋼304不銹鋼焊接而成，前級閥、預抽閥、維持閥型號為：GDQ100型，旁通閥為羅茨泵內安裝閥； *管道為全不銹鋼結構。 | 1套 |
| 真空室 | *由太鋼304不銹鋼焊接而成，帶水冷套，內尺寸?1000X600mm，2對平面靶安裝于罐體內，抽氣口右側分一列布置二個弧源位，門上一個觀察窗。 *工件支桿2套（20支），?8mm； *內襯板2套（厚度0.8mm）； *布氣管路； *放氣閥加裝空氣濾清器 *轉架為下轉架，帶屏蔽罩。 | 1套 |
| 弧電源 | 直流逆變DC160A（深圳瑞佳） | 2臺 |
| 偏壓電源 | 脈沖逆變30KW（珠海盛普） | 1臺 |
| 中頻電源 | 中頻逆變20KW（珠海盛普） | 2臺 |
沈陽威利德真空技術有限公司
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