| 產品名稱 | PVD1516 | 數量 |
| 真空系統 | ?*2X-70旋片泵三臺（成都南光） *RTO300S羅茨泵一臺（上海萃曼） *KT500擴散泵二臺（沈陽真龍） *閥門：GDZ2×500C高閥、前級閥、預抽閥、維持閥為不銹鋼結構GDQ100型，DDC65、壓差閥DDC80為上海二閥電磁閥，旁通閥為羅茨泵內安裝閥。 *管道為全不銹鋼結構。 *DB500冷阱為碳鋼（沈陽真龍）。 | 1套 |
| 真空室 | ?*罐體材料為304不銹鋼帶夾層水冷套結構，內尺寸?1500X1600mm，抽氣口兩側分四列布置12個弧源位，門上兩個觀察窗。 *工件支桿2套（16支），?19mm； *內襯板2套（厚度1mm）； *布氣管路； *放氣閥加裝空氣濾清器 *轉架為下轉架，帶屏蔽罩。 | 1套 |
| 弧電源 | 直流逆變DC160A（深圳瑞凌） | 12臺 |
沈陽威利德真空技術有限公司
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