| 產品名稱 | PVD1516 | 數量 |
| 真空系統 | ?*2X-70旋片泵三臺(成都南光) *RTO300S羅茨泵一臺(上海萃曼) *KT500擴散泵二臺(沈陽真龍) *閥門:GDZ2×500C高閥、前級閥、預抽閥、維持閥為不銹鋼結構GDQ100型,DDC65、壓差閥DDC80為上海二閥電磁閥,旁通閥為羅茨泵內安裝閥。 *管道為全不銹鋼結構。 *DB500冷阱為碳鋼(沈陽真龍)。 | 1套 |
| 真空室 | ?*罐體材料為304不銹鋼帶夾層水冷套結構,內尺寸?1500X1600mm,抽氣口兩側分四列布置12個弧源位,門上兩個觀察窗。 *工件支桿2套(16支),?19mm; *內襯板2套(厚度1mm); *布氣管路; *放氣閥加裝空氣濾清器 *轉架為下轉架,帶屏蔽罩。 | 1套 |
| 弧電源 | 直流逆變DC160A(深圳瑞凌) | 12臺 |







