| 產品名稱 | PVD1612B | 數量 |
| 真空系統 |
1.2x30旋片泵一臺（成都南光）； 2.2x70旋片泵一臺（成都南光） 2.RTO·300S羅茨泵一臺（上海萃曼）； 3.KT-500擴散泵兩臺（沈陽真龍）； 4.閥門：前級閥、預抽閥、維持閥以上為GDQ100型不銹鋼結構，DDC-JQ80型電磁真空帶充氣閥為上海二閥電磁閥，旁通閥為羅茨泵內安裝閥； 5.管道為全不銹剛結構，擴散泵出口為波紋管連接。 |
1套 |
| 真空室 | *罐體材料為304不銹鋼帶夾層水冷套結構，內尺寸?1600X1200mm，抽氣口兩側分二列布置10個弧源位，預留兩個平面靶，門上兩個觀察窗。 *工件支桿2套（40支），?14mm； *內襯板2套（厚度1mm）； *布氣管路； *放氣閥加裝空氣濾清器*轉架為下轉架，帶屏蔽罩。 | 1套 |
| 弧電源 | 直流逆變DC160A（深圳瑞凌） | 10臺 |
沈陽威利德真空技術有限公司
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