儀器簡介：

瑞士CSM儀器公司的UNHT型超納米壓痕儀在滿足常規(guī)納米壓入測試需求的基礎(chǔ)上，更為對低熱漂移、小載荷壓入與高位移測量與控制等有較高需求的用戶設(shè)計(jì)制造。它擁有的主動(dòng)參比測量系統(tǒng)及多電容傳感器以監(jiān)控壓入載荷和壓入深度，并實(shí)時(shí)消除噪聲和熱漂移等微小誤差。UNHT型超納米壓痕測試儀是市場上現(xiàn)有的精準(zhǔn)的納米與超納米尺度動(dòng)態(tài)壓痕測試儀器。在小尺度蠕變、軟材料、生物材料、超薄膜、弛豫、彈性體等應(yīng)用領(lǐng)域性能尤為突出。

正弦加載壓入模式（Sinus 態(tài)機(jī)械分析模式）
正線加載入模式可以通過其動(dòng)態(tài)的測量過程給出材料更為完整的力學(xué)信息，例如材料的粘彈性。這種加載模式可以給出材料硬度、彈性模量、存儲(chǔ)模量和損失模量等信息隨壓入深度的連續(xù)分布曲線。

 
瑞士CSM儀器公司三十年來致力于為材料、物理、機(jī)械工作者提供先進(jìn)、精準(zhǔn)、全面的材料機(jī)械性質(zhì)測試儀器、分析咨詢以及測試服務(wù)。我們的主要產(chǎn)品包括：
測量材料硬度和彈性模量的納米級(jí)、微米級(jí)儀器化壓入測試儀（納米壓痕儀, 顯微壓痕儀）；
界定膜基結(jié)合強(qiáng)度、薄膜抗劃擦能力的納米級(jí)、微米級(jí)、大載荷劃痕測試儀 (Scratch tester) ；
包括真空、高溫以及線性往復(fù)運(yùn)動(dòng)等選項(xiàng)的摩擦磨損測試儀、納米摩擦儀 (摩擦磨損試驗(yàn)機(jī) ；
簡便易用的膜厚測試儀；
用于三維成像表征材料表面形貌的原子力顯微鏡 (AFM) 和白光共聚焦顯微鏡 (Confocal Microscope) 。

技術(shù)參數(shù)：

小有效加載載荷： 25uN
有效加載載荷 100mN
有效載荷分辨率 1nN
小接觸力 100nN
壓痕深度 100um
位移分辨率 0.0003nm
位移信號(hào)噪聲水平 0.03nm
位移信號(hào)穩(wěn)定水平（或熱漂移） 0.008nm/sec
加載模式 高壓電驅(qū)動(dòng)加載
位移測量  電容傳感器
符合ISO 14577-1，2，3國際標(biāo)準(zhǔn)
加載模式：
線性加載，連續(xù)加載卸載，二次項(xiàng)加載，恒應(yīng)變速率加載，位移控制加載
正弦加載（DMA模式）：
能夠通過壓痕獲得接觸剛度、硬度和彈性模量隨壓痕深度的連續(xù)函數(shù)分布；
能夠測量材料的儲(chǔ)存模量、損耗模量和阻尼
能夠在壓入過程中通過反饋系統(tǒng)保持恒定的簡諧位移振幅。
簡諧力頻率范圍: 1Hz to 200Hz


XY 工作臺(tái)： 120 x 20 mm ，245 x 120 mm (OPX+)
XY 工作臺(tái)位移分辨率 ：0.25 μm ，0.10 μm (選件)
光學(xué)顯微鏡放大倍率： 200x, 4000x
光學(xué)顯微鏡攝像鏡頭： 彩色 768 x 582*

主要特點(diǎn)：

特點(diǎn)
主動(dòng)參比測量設(shè)計(jì)實(shí)時(shí)扣除熱漂移等偽位移信號(hào) 
超低熱漂移
深度與載荷信號(hào)的電容傳感器測量
雙壓電加載裝置（更加可靠的設(shè)計(jì)）
雙載荷傳感器（閉環(huán)力反饋系統(tǒng)）
符合國際標(biāo)準(zhǔn)ISO 和 ASTM
集成自動(dòng)光學(xué)測量系統(tǒng)
帶有反饋系統(tǒng)的載荷加載裝置
儀器操作系統(tǒng)軟件包

可擴(kuò)展選項(xiàng)
真空或濕度環(huán)境控制
原子力顯微鏡
高分辨率工作臺(tái) (0.25微米)
高分辨率CCD光學(xué)顯微鏡
環(huán)境保護(hù)罩