- 產品品牌：
- LINE TECH
- 產品型號：
- M3030V/A
- 測量范圍：
- 1 m3/h
- 等級：
- +/-1%
- 公稱通徑：
- 6 mm
- 適用介質：
- 氣體
- 工作壓力：
- 10 MPa
- 工作溫度：
- 0-50 ℃
氣體質量流量控制器 ( Mass Flow Controller簡稱MFC ) & 氣體質量流量計( Mass Flow Meter簡稱MFM ) 能夠在較大的量程范圍內對氣體的質量流量進行高測量和控制。 應用領域： 真空鍍膜設備 , 光電產業到工業用工具的表面鍍膜Sputter磁控濺射臺, PVD, CVD , MOCVD, 氧化 , 等離子刻蝕 , 離子注入直拉式晶爐，精密的半導體產 ,燃料電池,氣調儲存保鮮相關設備,胞培養發酵罐設備精密氣體混合分析，熔煉設備器件滲漏偵查, 高壓相關產業反應裝置，生物反應器，生物過程控制器乳酸生產成套發酵系統設備醫療設備等等涉及到人工 電子或是電腦控制的氣體相關作業。
