- 產品品牌：
- Line Tech
- 產品型號：
- M3030V/A
韓國原裝進口高氣體質量流量計/氣體質量流量控制器，使用特別的熱傳感器和控制電路提高計算。廣泛應用于半導體工業和其他行業，產品設計堅固、耐用，且經濟。 應用： l 所有工業 l 氣體混合及分析 l 注氣、表面加工行業（PVC,CVD,反應器等） l 半導體工業 l 部件泄露檢測 l 產品研究和開發 l 高壓行業 l 光纖 l 燃料電池 l 反應器系統 l 氣體的混合系統 優勢： l 測量質量流量 l 不需要溫度、壓力補償 l 緊湊的流量控制系統 l 高（±1%F.S） l 耐高壓（95公斤） l 快速響應時間（＜1秒） l 高重復性（±0.25%F.S) 規格：
| 型號 | M3030V/A |
| 流量范圍（N2) | 0.01~30 slpm |
| 響應時間 | ＜2秒 |
| 度 | ±1% |
| 重復 | ±0.25% |
| 輸入輸出信號 | 0~5Vdc or 4~20mA |
| 供電 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
| 工作壓力 | 5~1300 psia |
| 工作溫度 | 0~50℃ |
| 漏率 | 1×10-9atm.cc/sec |
| 控制范圍 | 2~100% |
