- 產品品牌：
- 美國mks
- 產品型號：
- 1179A
1179A
流量比例控制器（通用型）
1179A是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，可在多種應用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。對于當今市場上的質量流量控制器，1179A可作為直接替代的產品，標準的3英寸底座使1179能夠直接進行安裝而無需改變現有的氣體管道。它具有數字和模擬兩種模式，其為全量程的1%。技術參數：全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。控制量程：2% to 100%的全量程。測量：全量程的1%靈敏度：全量程的0.1%熱機時間：小于2Min.響應速度：小于2Sec.輸入電壓：±15VDC@100ma輸出電壓：0-5VDC連接器：模擬：9Pin或15Pin或20Pin Card edge. 數字：RS485或Device net或Profibus法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等材質：316不銹鋼。質保期：有限保修自售出之日起12個月。 例：型號1179A00411CR1A5VXX 采購序列號 校準氣體（SEMI氣體編號）*Helium, He 001Argon, Ar 004Hydrogen, H2 007Nitrogen, N2 013Oxygen, O2 015
