特點及應用領域
　　氣體質量流量控制器（流量計）（M gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。
　　S49系列質量流量控制器(流量計)特點：
　　*采用主體不銹鋼（316L）結構，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON？、聚四氟乙烯等
　　*適用于各種腐蝕性氣體
　　*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準
　　*高  
　　*重復性好
　　*響應速度快、軟啟動、穩定
　　*低壓降
　　*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）。
　　*操作使用方便，可任意位置安裝
　　*便于與計算機連接實現自動控制。
　　S49系列質量流量控制器(流量計)主要應用領域：
　　*半導體制造行業的氣體流量控制
　　*分析儀器設備的氣體計量與控制
　　*各種形式的真空鍍膜設備
　　*環境檢測與分析設備
　　*化工、石化、食品行業氣體流量監測和控制
　　*特種材料表面處理裝置與燃燒控制
　　*混氣配氣系統和泄漏探測系統等

S49 32/MT質量流量控制器(流量計)技術指標
編號  項目  S49 32/MT
1  流量規格  （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min
（1,2,3,5,10）L/min
2  調節閥類型  電磁調節閥
3  調節閥靜止狀態  常閉
4  準確度  ±1.5%F.S
5  線性  ±1.5%F.S
6  重復  ±0.2%F.S
7  響應時間  ≤8秒（T95）
8  工作壓差范圍  （50～300）kPa;   （100～300）kPa(10L/min)
9  耐壓  3MPa;           10MPa
10  工作環境溫度  （5～45）℃
11  材料  不銹鋼316L
12  標準密封材料  Viton？，    EPDM，  或其他由用戶指定
13  漏率  1×10-8Pa.m3/s
14  接頭  Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用戶指定
15  輸入輸出信號  （0～＋5.00）V (輸入阻≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA)
16  供電電源  ±15V（±5%）（＋15V  50mA,  －15V  200mA）
17  外形尺寸mm  130（寬）×102（高）×28（厚）
18  重量kg  0．8