S48　28/HMT質量流量控制器主要技術指標
　　編號  項目  S48　28/HMT
　　1  流量規格  （100，150，200）L/min
　　2  調節閥類型  電磁調節閥
　　3  調節閥靜止狀態  常閉
　　4  安裝角度  任意
　　5  流量控制范圍  5%-100%F.S.
　　6  流量測量范圍  0%-100%F.S.
　　7  響應時間  2　sec（T98）
　　8  工作環境溫度  5-50℃
　　9  溫度  15-35℃
　　10    &plun;1.0%F.S.
　　11  線性  &plun;0.5%F.S.
　　12  重復性  &plun;0.2%F.S.
　　13  工作壓差  （100/150/200）L/min：（100/150/200）-300kPa（D）
　　14  耐壓  3MPa（G）
　　15  泄漏率  1×10-8　Pa•m3/s（He）
　　16  接觸氣體材料  316L，PTFE，Viton
　　17  管路接頭  Swagelok：3/8″Φ10　VCR：1/2″VCR：1/4″3/8
　　18  供電電源  &plun;15VDC（&plun;5%）＋15V，<100mA-15V，<200mA  ＋24VDC（寬電壓＋11-＋25V），<350mA（＋24VDC供電時）
　　19  設定信號  （0-5）VDC
　　輸入阻>1MΩ  4-20mA；（可定制：1-5V或0-5V，
　　輸入阻>100kΩ）
　　20  流量輸出信號  （0-5）VDC
　　負載能力≤3mA  4-20mA；（可定制：1-5V或0-5V，
　　負載能力≤3mA）
　　21  電氣接頭  D-SUB15，D-SUB9
　　22  重量（kg）  2.8