C09渦輪分子泵系列　
　　萊寶的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵有五種規(guī)格，抽速自50至1100升／秒，限真空度為＜10-10mbar。
　　其主要特點為：
　　◆陶瓷軸承為脂潤滑，無維護運行時間長。
　　◆允許任意角度安裝。
　　◆有水冷和風冷兩種選擇。
　　◆對H2的壓縮比大。
　　◆無油真空泵，可用來產(chǎn)生潔凈的真空。
　　
　　TW系列復合分子泵
　　抽速：70～1600升／秒　
　　限真空度：10－9mbar　
　　允許前級壓強：6～14mbar　
　　
　　主要特點有：　
　　◆轉(zhuǎn)子葉片為成型，消除了葉片應力，使得前級耐壓14mbar，并能短暫的大氣沖擊。　
　　◆的風冷系統(tǒng)，使其在大多數(shù)工作條件下無需冷水。
　　◆變頻器與泵體的一體化設計，避免了連接變頻器帶來的不便。
　　◆模塊化的設計為用戶提供了多種選擇。　
　　◆結(jié)構(gòu)緊湊，可方便地安裝到復雜的系統(tǒng)中。　
　　◆可以任意角度安裝。　
　　◆螺旋式的拖動級耐粉塵能力強。　
　　◆軸承為油脂潤滑，無維護運行時間長。
　　◆無油真空泵，可用來產(chǎn)生潔凈的高真空和真空。
　　◆可在軸承需要維護時提前預警。　
　　◆通過通訊接口可以與掌上電腦，PC或PLC聯(lián)絡，以讀取分子泵工作狀態(tài)的參數(shù)，以及儲存單元的運行記錄；并可根據(jù)需要對某些參數(shù)進行修改，如頻率等。　
　　◆高前級耐壓降低了對前級泵的要求，使得系統(tǒng)總體造價降低。　
　　
　　新一代數(shù)字化控制，五軸定位的磁懸浮分子泵
　　MAG　1500C／，MAG2000C／，MAG2200C／，MAG　2800C／，MAG　3200C／
　　抽速：1500l／s～3200l／s　
　　●五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng)，自平衡性能好全無油，耐粉塵、氣流沖擊。
　　●轉(zhuǎn)子采用度鋁合金，銑削成形，應力小，強度高，耐沖擊，高溫變形量小，轉(zhuǎn)子葉片不易卷曲、打碎；轉(zhuǎn)子長期運行溫度可120℃。　
　　●轉(zhuǎn)子及定片均采用萊寶技術(shù)的　KAPLAR　涂層　
　　●較鍍鎳的轉(zhuǎn)子具有更強的腐蝕性能，適用于抽除腐蝕的工藝氣體；　
　　●降低氣流與轉(zhuǎn)子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量，降低轉(zhuǎn)子運行溫度，有利于延長轉(zhuǎn)子壽命；
　　●葉片鍍　KAPLAR　的轉(zhuǎn)子較鍍鎳的轉(zhuǎn)子重量更輕。
　　●保護軸承為陶瓷軸承，壽命長（＞600次），無需更換保護軸承。
　
　　●高真空端連接采用ISO-F，連接螺栓強度高，充分保障。
　　●智能化電源，無需UPS。　
　　●帶拖動級，前級耐壓在2mbar以上。　
　　●分子泵運行溫度可調(diào)節(jié)，使其充分適應不同工藝制程。　
　　●的數(shù)字控制技術(shù)
　　●運行速度、溫度可設置；　
　　●運行數(shù)據(jù)記錄存儲，提供多達180條運行信息；　
　　●磁懸浮軸承及泵運行溫度采用數(shù)字化控制，信號處理速度快，系統(tǒng)反應時間短　
　　●轉(zhuǎn)子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉(zhuǎn)子動平衡變化時，磁場補償反應時間短；　
　　●在氣流長時間（2分鐘以上）過大，而使泵負載過高，發(fā)熱量過大時，泵速會快速自動調(diào)節(jié)，使泵溫下降到正常水平。　
　　●控制器與泵無識別性，可互換。　
　　●免維護。
　
　　典型應用：
　　適用于　
　　●半導體主要制程：刻蝕、化學氣相沉淀及離子注入　
　　●科研領(lǐng)域　
　　●鍍膜　
　　另外，萊寶公司磁懸浮分子泵系統(tǒng)中還包括單軸定位的　TURBOVAC340M，MAG400和MAG　1000。