適用領(lǐng)域：
氟油檢漏設(shè)備是與氦質(zhì)譜檢漏儀配套使用的，針對(duì)半導(dǎo)體、電子元器件進(jìn)行密封性、性檢漏的設(shè)備，能完成G548-96標(biāo)準(zhǔn)和GI128A-97標(biāo)準(zhǔn)中，對(duì)半導(dǎo)體器件件進(jìn)行氦加壓精檢漏和充高壓氟油粗檢漏要求。
結(jié)構(gòu)組成：抽真空系統(tǒng)、加壓系統(tǒng)、氟油檢漏系統(tǒng)。
技術(shù)指標(biāo)：
真空度≤100PA
充氦壓力：0.2～1.0Mpa
指示液（F43）溫度：125&plun;5℃
保壓時(shí)間：1～10h
加壓系統(tǒng)可根據(jù)被檢元器件尺寸設(shè)計(jì)。
產(chǎn)品規(guī)格：主要分為手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)等。
氟油檢漏設(shè)備是與氦質(zhì)譜檢漏儀配套使用的，針對(duì)半導(dǎo)體、電子元器件進(jìn)行密封性、性檢漏的設(shè)備，能完成G548-96標(biāo)準(zhǔn)和GI128A-97標(biāo)準(zhǔn)中，對(duì)半導(dǎo)體器件件進(jìn)行氦加壓精檢漏和充高壓氟油粗檢漏要求。
結(jié)構(gòu)組成：抽真空系統(tǒng)、加壓系統(tǒng)、氟油檢漏系統(tǒng)。
技術(shù)指標(biāo)：
真空度≤100PA
充氦壓力：0.2～1.0Mpa
指示液（F43）溫度：125&plun;5℃
保壓時(shí)間：1～10h
加壓系統(tǒng)可根據(jù)被檢元器件尺寸設(shè)計(jì)。
產(chǎn)品規(guī)格：主要分為手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)等。
