·采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng);
·納米級(jí)位移分辨率;
·重復(fù)定位高;
·優(yōu)良的頻率響應(yīng)特性;
·采用計(jì)算機(jī)有限元分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)結(jié)構(gòu);
·可內(nèi)置 LVDT 或電阻應(yīng)變片式微位移傳感器,方便實(shí)現(xiàn)循環(huán)控制;
·機(jī)體材料可選擇鋁合金、Invar 合金等,適用于不同的應(yīng)用場(chǎng)合;
·采用電火花、線切割等加工工藝,以嚴(yán)格加工;
·從一維到六維六十余種型號(hào),已形成系列產(chǎn)品;
·采用的表面處理工藝,了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力。






