壓電陶瓷致動器具有體積小，位移分辨率高，響應(yīng)速度快，輸出力大，換能效率高，不發(fā)熱，可采用相對簡單的電壓控制方式等特點。但其本身固有的一些特性會影響到工作臺的定位和線性度。壓電陶瓷在電場的作用下有兩種效應(yīng)：逆壓電效應(yīng)和電致伸縮效應(yīng)。在電路中，壓電陶瓷具體表現(xiàn)為電容特性。
哈爾濱工業(yè)大學(xué)博實精密測控有限責(zé)任公司
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