優(yōu)點(diǎn)
◆全刻度范圍從100毫乇…1000乇
◆電源接通后的快速穩(wěn)定性
◆暴露大氣壓后的性
◆腐蝕性陶瓷傳感監(jiān)測(cè)器
◆卓越的長(zhǎng)期訊號(hào)穩(wěn)定性
◆溫度補(bǔ)償
◆保護(hù)傳感器污染
◆一鍵調(diào)功能
◆寬范圍電源
◆2個(gè)設(shè)點(diǎn)(選項(xiàng))
◆RS232接口(選項(xiàng))
用途
要求高的應(yīng)用條件下,而快速的壓強(qiáng)測(cè)量:
◆用于刻蝕,CVD,PVD,ALD半導(dǎo)體制造設(shè)備
◆資料貯存和顯示器制造設(shè)備
◆工業(yè)真空設(shè)備
◆常用高真空測(cè)量
其他說明
| Torr | Pascal | Mbar | 1/2"tube | DN 16 ISO-KF | DN 16 CF-R | 8 VCR |
| 1000 | 133322 | 1333 | 375-000 | 375-001 | 375-002 | 375-003 |
| 100 | 13332 | 133 | 376-000 | 376-001 | 376-002 | 376-003 |
| 10 | 1333 | 13.3 | 377-000 | 377-001 | 377-002 | 377-003 |
| 1 | 13.3 | 0.13 | 378-000 | 378-001 | 378-002 | 378-003 |
| 0.1 | 13.3 | 0.13 | 379-000 | 379-001 | 379-002 | 379-003 |
CDG025D, 溫度補(bǔ)償型,帶2個(gè)設(shè)點(diǎn)和RS232接口
全刻度范圍 法蘭型式
| Torr | Pascal | Mbar | 1/2"tube | DN 16 ISO-KF | DN 16 CF-R | 8 VCR |
| 1000 | 133322 | 1333 | 375-300 | 375-301 | 375-302 | 375-303 |
| - | 110000 | 1100 | 375-500 | 375-501 | 375-502 | 375-503 |
| 200 | 26664 | 267 | 382-300 | 382-301 | - | - |
| 100 | 13332 | 133 | 376-300 | 376-301 | 376-302 | 376-303 |
| - | 10000 | 100 | 376-500 | 376-501 | 376-502 | 376-503 |
| 20 | 2666 | 26.7 | - | - | - | - |
| 10 | 1333 | 13.3 | 377-300 | 377-301 | 377-302 | 377-303 |
| - | 1000 | 10 | 377-500 | 377-501 | 377-502 | 377-503 |
| 1 | 133 | 1.3 | 378-300 | 378-301 | 378-302 | 378-303 |
| - | 100 | 1 | 378-500 | 378-501 | 378-502 | 378-503 |
| 0.25 | 33.3 | 0.33 | 385-300 | 385-301 | 385-302 | 385-303 |
| 0.1 | 13.3 | 0.13 | 379-300 | 379-301 | 379-302 | 379-303 |
| - | 10 | 0.1 | 319-500 | 379-501 | 379-502 | 379-503 |








