PEV-1壓電閥（PEV-1 PIEZOELERIC GAS LEAK VALVE）是為了適用真空系統(tǒng)的高氣體流量控制閥門，主要應用領域包括：磁控濺射鍍膜，光學鍍膜，ITO鍍膜，等離子體刻蝕等。可與國產(chǎn)自動壓強控制儀配套使用，來實現(xiàn)閉環(huán)控制，穩(wěn)定壓強的目的，。
技術(shù)參數(shù)：
閥門類型：壓電晶體
可控制的氣體：兼容各種材料
流量范圍：0？500 SCCM
漏率：<1x10？9 scc/sec（1ATM HE ON INLET）
響應時間：2微秒
進氣壓力：50 PSI
驅(qū)動要求：電壓：0？100 VDC，電流：<10μA
操作溫度范圍：＋10°C to＋60°C
材料：316不繡剛，氟橡膠，特富龍，陶瓷片
進氣和出氣連接：1/4"Swagelok Fittings
電氣連接：標準BNC
重量：800克
技術(shù)參數(shù)：
閥門類型：壓電晶體
可控制的氣體：兼容各種材料
流量范圍：0？500 SCCM
漏率：<1x10？9 scc/sec（1ATM HE ON INLET）
響應時間：2微秒
進氣壓力：50 PSI
驅(qū)動要求：電壓：0？100 VDC，電流：<10μA
操作溫度范圍：＋10°C to＋60°C
材料：316不繡剛，氟橡膠，特富龍，陶瓷片
進氣和出氣連接：1/4"Swagelok Fittings
電氣連接：標準BNC
重量：800克
