Varian公司利用干式渦旋真空獲得技術(shù)為用戶(hù)提供了高抽速，低限壓強(qiáng)的渦旋式干泵產(chǎn)品，這種干式渦旋泵具有全無(wú)油、高耐用性、高性，噪音小等特點(diǎn)。
特點(diǎn)：
※抽氣效率高，限壓強(qiáng)低且無(wú)油
※的Triscroll技術(shù)使Triscroll我尋干泵具有性和耐久性
※軸護(hù)充氣口，大大了抽除可凝性氣體的能力，性，延長(zhǎng)維修周期
※自動(dòng)氣振閥，了對(duì)水蒸氣及其他可凝性氣體的抽氣效果，使的性能保持一致
特點(diǎn)：
※抽氣效率高，限壓強(qiáng)低且無(wú)油
※的Triscroll技術(shù)使Triscroll我尋干泵具有性和耐久性
※軸護(hù)充氣口，大大了抽除可凝性氣體的能力，性，延長(zhǎng)維修周期
※自動(dòng)氣振閥，了對(duì)水蒸氣及其他可凝性氣體的抽氣效果，使的性能保持一致
其他說(shuō)明
| 型號(hào) | SH110 | TS300 | TS600 | TS600Inverter | TS300Inverter |
| 抽速50Hz, l/min,m3/h(cfm) | 90,5.4/3.3 | 210,12.6/7.4 | 420,25.2/14.8 | 250,15/8.8 | 500,30/17.7 |
| 限壓強(qiáng)Torr/mbar | 6 x 10 -2 5 x 10 -2 | 1.3 x 10 -2 1 x 10 -2 | 9.3 x 10 -3 7 x 10 -3 | 1.3 x 10 -2 1 x 10 -2 | 9.3 x 10 -3 7 x 10 -3 |
| 抽氣口壓強(qiáng)atm | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 |
| 排氣口壓強(qiáng)atm | 1.5/7.5 | 1.1/1.5 | 1.1/1.5 | 1.1/1.5 | 1.1/1.5 |
| 抽氣口接口 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 |
