一、主要技術(shù)指標(biāo)
1、X1軸
1.1 測(cè)量范圍：100mm
1.2 分辨率：0.5μm
1.3 檢測(cè)方法：莫爾光柵
1.4 驅(qū)動(dòng)速度：0.1, 0.2, 0.5, 1mm/S
1.5 測(cè)量方向：向后
1.6 直線(xiàn)度：2.5μm/50mm
1.7 指示：±（4+2L/100）μm
2、Z1軸
2.1 測(cè)量范圍：12mm
2.2 分辨率：0.4μm
2.3 檢測(cè)方法：莫爾光柵
2.4 指示：±（3.5+|4H|/12）μm
2.5 測(cè)針?lè)较颍合蛳?/span>
2.6 測(cè)針抬起：自動(dòng)
2.7 測(cè)針接觸：自接觸
2.8 測(cè)針針尖：25μm硬質(zhì)合金針尖
3、Z立柱
3.1 行程：280mm
3.2 方式：電動(dòng)
4、夾具
4.1 綜合平臺(tái)：Y向調(diào)整、轉(zhuǎn)角調(diào)整
4.2 平口鉗：4寸正弦
5、測(cè)臂
5.1 長(zhǎng)度：200mm
5.2 直徑：8mm
6、測(cè)針
6.1 類(lèi)型：?jiǎn)吻忻?/span>
6.2 長(zhǎng)度：20mm
6.3 直徑：2mm
