主要技術(shù)指標(biāo)

1、旋轉(zhuǎn)工作臺

   1.1 旋轉(zhuǎn)：（0.05+6H/10000）μm

   1.2 旋轉(zhuǎn)速度：6rpm

   1.3 工作臺直徑：180mm

   1.4 工件直徑：470mm

   1.5 測量直徑：280mm

   1.6 臺面承重：25kg

2、垂直軸（Z軸）

   2.1 垂直移動：280mm 

   2.2 檢測高度（離旋轉(zhuǎn)工作臺）：280mm

   2.3 檢測深度：100mm（小內(nèi)徑30mm）

   2.4 與主軸平行度：0.5μm/100mm、

   2.5 立柱標(biāo)尺：光柵尺

3、水平臂（X軸）

   3.1 水平移動：165mm

   3.2 突出量：25mm

   3.3 水平移動方式：電動

   3.4 接觸方式：自接觸

4、測針和側(cè)頭

   4.1 測量范圍：±300μm

   4.2 標(biāo)準(zhǔn)測針：紅寶石  Φ2

   4.3 測量方向：雙方向

   4.4 測針角度調(diào)整：±45°

5、圓周采樣

   5.1 采集器件：圓光珊

   5.2 圓周采樣點數(shù)：8192點

6、數(shù)據(jù)分析

   6.1 圓柱度功能：2-10個截面，3種評價方式

   6.2 圓柱度評估的參考基準(zhǔn)：LSCY  MZCY  MICY  MCCY  OSCY

   6.3 圓度評估參考圓：LSC  MZC  MIC  MCC

   6.4 直線度：垂直方向

   6.5 跳動：徑向單跳動，徑向全跳動，軸向單跳動

   6.6 同軸度：軸元素

   6.7 錐度：直徑變化在傳感器量程范圍內(nèi)

   6.8 其他功能：同心度、壁厚差、單截面平面度、平行度

   6.9 測量波段：1-15upr，1-50upr，1-150upr，1-500upr，15-150upr，15-500upr，50-500upr
   6.10 缺口測量：有

7、糾修功能

   7.1 立柱修正：有

   7.2 立柱青椒修正：有

   7.3 工件傾斜修正：有